열 유량 센서는 가스의 열적 특성을 이용해 질량 유량을 측정합니다. 이를 위해 흐르는 가스에 열을 가하고, (온도) 센서는 가스가 흡수하는 열의 양을 측정합니다.

낮은 가스 유량을 정확하게 측정하는 전통적인 방법은 바이패스 원리가 적용된 질량 유량계를 사용하는 것입니다. 습도 및 오염에 덜 민감한 액체뿐만 아니라 가스의 낮은 유량을 측정하는 방법을 찾고 있다면 인라인 원리가 매우 유리합니다.

항온 풍속계 작동 원리

이 인라인 원리는 CTA 또는 항온 풍속계를 사용합니다. 이 인라인 측정의 또 다른 동의어는 '직접 관류 측정'입니다. 그리고 이름에서 알 수 있듯이 '인라인'은 바이패스가 없음을 의미합니다.

항온 풍속계의 킹의 법칙

항온 풍속계의 킹의 법칙

항온 풍속계(CTA) 가스 유량 센서는 가스가 강제로 흐르는 주 가스 흐름 채널에 인라인으로 배치된 두 개의 스테인리스 스틸 프로브('금속 펜')로 구성됩니다. 첫 번째 프로브는 히터이고 두 번째 프로브는 온도 센서입니다. 프로브 사이에 일정한 온도 차이(델타-T 또는 ΔT)가 생성됩니다.

실제 질량 유량에 관계없이 항온 풍속계는 두 센서 프로브 사이의 온도 차이(ΔT)를 일정한 수준으로 유지하는 것을 목표로 합니다. 이 일정한 ΔT를 유지하는 데 필요한 히터 에너지는 질량 유량에 비례하므로 가스의 질량 유량을 측정할 수 있습니다. 이 비례 계수는 열 전도도 및 비열 용량과 같은 가스의 열적 특성과 동적 점도에 따라 달라집니다.

가스 질량 유량이 높을수록 선택한 ΔT를 유지하는 데 더 많은 에너지가 필요합니다. 실제 질량 유량은 가스가 센서를 따라 흐르면서 이 일정한 온도 차이를 유지하는 데 필요한 가변 전력을 측정하여 계산합니다.

이 원리는 100여 년 전 캐나다의 물리학자이자 열선 풍속계의 발명가인 루이 베소 킹이 자신의 이름을 딴 법칙(킹의 법칙)을 가정하여 열선의 열 손실이 기체 또는 액체 덩어리의 흐름에 의해 발생하는 것을 설명한 데서 유래합니다.

다양한 유량 측정 기술 중 항온 풍속계(CTA) 원리에 기반한 열 질량 유량 측정은 기체와 액체 모두에 사용됩니다. CTA 원리를 기반으로 하는 질량 유량계는 거의 모든 산업 분야의 광범위한 측정 및 제어 애플리케이션에 적용됩니다.

가스용 브롱크호스트 인라인 열 질량 유량계

약간 습한 가스(습도)가 있거나 정확도는 낮지만 높은 반복성과 견고성이 요구되는 어플리케이션에는 MASS-STREAM 또는 MASS-VIEW 장치와 같은 직선 유량 채널과 함께 견고한 인라인 센서가 장착된 유량 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 입자로 인해 막힐 좁은 파이프 라인이 없으므로 대부분의 가스를 처리할 수 있습니다.

이러한 '인라인' 질량 유량계와 컨트롤러는 어디에 사용되나요?

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