熱質式質量流量計
Thermal mass flow meters 採用加熱元件和溫度傳感器的組合來測量氣體的質量流量，並利用熱力學原理得出實際流量。 熱質式質量流量計只需對溫度、壓力或密度的變化進行有限的修正，精度極高，尤其是在測量低流量和極低流量時。
圖片 1：層流元件 LFE
層流元件；關鍵元件
如圖 1 所示，層流元件是基於旁通原理的熱質式質量流量計的關鍵部件。 層流元件（LFE）的功能是產生分流。 在基於bypass principle 熱質式質量流量計中，質量流量是在主流道的旁路bypass中測量的。 由於層流元件的尺寸特殊，因此可以獲得與毛細管傳感器相同的線性壓力/流量特性。
按照精確蝕刻的薄疊金屬板的層流元件，可以測量非常小到中等的流速（< 1 mln/min 到 20 ln/min）。 旁通管是內徑為 0.2 毫米的毛細管，由於只需加熱一小部分管子，因此響應速度快，能耗低。
層流laminar flow的重要性以及與紊流turbulent flow的區別，請參考: 此文章
圖 2：層流元件（LFE）的分流原理: 只有部分氣流流經感測器。 其餘氣流將流經層流元件。
利用蝕刻金屬件製造領先業界的產品
產品的微型化，也就是將部件的微型化，是製造商想領先業界必要條件。 對於 LFE 元件，我們採用了化學蝕刻製程，這是一種用於微精密部件的減法製造方法。
化學蝕刻
化學蝕刻（又稱光化學加工（PCM）和化學銑削）既精確又快速經濟。 無需昂貴的工具或機器即可生產出複雜、多層次、多功能、高精度的零件。 與數控加工、沖壓、線切割等 “傳統 ”機械加工方法，甚至與雷射切割和電化學加工等更 “現代 ”的方法相比，化學蝕刻從小型製作到大規模生產，都能為您提供極具競爭力的選擇。 根據您的圖紙，樣品可在數天內製作完成。
主要優勢
主要優勢
無應力與毛刺
微米級
極小公差
多種材料
厚度從 25um 到 2mm
圓孔、銳邊、直線或特殊邊緣
快速樣品製作
成本效益高
工具靈活，易於改裝
一般氣體流量測量
EL-FLOW Prestige 質量流量計
EL-FLOW Prestige熱質式氣體流量計是Bronkhorst的新一代氣體質量流量計/控制器。 幾乎所有的核心部件都經過了重新設計，並融入了許多改進和創新。 我們在新系列中引入了 “溫差平衡Differential Temperature Balancing”技術，從而確保了傳感器的穩定性。 您可以登入獲取由Bronkhorst撰寫的白皮書 “A holistic view based on data to design components which offer optimal performance of a thermal mass flow meter/controller基於數據的整體視角，設計提供最佳熱式質量流量計/控制器性能的組件”，該白皮書描述了集成在 EL-FLOW Prestige 中的創新技術。
相關文章
你喜歡這篇文章嗎? 也許您也對這些感興趣
