Anwendungsbeispiele
Durchflusskontrolle in MOCVD
Metallgedichtete Durchflussregler von Bronkhorst werden in einem MOCVD-Prozess zur LED-Herstellung eingesetzt, um eine präzise Steuerung der Trägergase zu ermöglichen. Bronkhorst lieferte nicht nur die Durchflussregler, sondern bot auch einen unübertroffenen Full-Service-Support – von der Kalibrierung bis zur Beratung vor Ort –, um eine optimale Leistung für diesen Kunden zu gewährleisten.
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Massendurchflussregler für FOUP
Durch die Implementierung von Bronkhorst-Massendurchflussreglern in FOUP-Spülprozessen können Hersteller Sauberkeit gewährleisten, Kontaminationsrisiken reduzieren und die Betriebseffizienz optimieren – und damit den hohen Anforderungen der heutigen fortschrittlichen Halbleiterindustrie gerecht werden.
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Messung und Regelung von überkritischen Flüssigkeiten
Prozesse mit überkritischen Flüssigkeiten erfordern Messtechnik, die über herkömmliche Methoden hinausgeht. Mit Coriolis-Massendurchflussmessgeräten können Sie eine konsistente und genaue Durchflussregelung erzielen. Selbst unter sich schnell ändernden physikalischen Bedingungen bei der Verwendung überkritischer Flüssigkeiten.
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Warum Bronkhorst für den Halbleitermarkt?
Bronkhorst ist auf die Optimierung der Fluidsteuerungstechnik spezialisiert. Die Genauigkeit unserer Durchflussmessgeräte ist für Prozesse wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die Sprühbeschichtung für Flachbildschirme (FPD) und die Atomlagenabscheidung (ALD) von entscheidender Bedeutung. Die Verfügbarkeit von metallisch abgedichteten Durchflussmessgeräten kann Ihnen dabei helfen, Ihre Direktflüssigkeitsinjektionssysteme zu optimieren.
Warum Bronkhorst für den Halbleitermarkt?
Bronkhorst ist auf die Optimierung der Fluidsteuerungstechnik spezialisiert. Die Genauigkeit unserer Durchflussmessgeräte ist für Prozesse wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die Sprühbeschichtung für Flachbildschirme (FPD) und die Atomlagenabscheidung (ALD) von entscheidender Bedeutung. Die Verfügbarkeit von metallisch abgedichteten Durchflussmessgeräten kann Ihnen dabei helfen, Ihre Direktflüssigkeitsinjektionssysteme zu optimieren.
Hergestellt in Europa
Erleben Sie die Sicherheit europäischer Handwerkskunst. Unsere Durchflussmessgeräte werden in Europa entwickelt und hergestellt und bieten höchste Qualität, Zuverlässigkeit und die Einhaltung der strengsten Industriestandards. Perfekt für die Anforderungen von Halbleiterprozessen.
Globale Präsenz mit lokalem Service
Mit Niederlassungen und Partnern weltweit verbinden wir globale Reichweite mit lokaler Expertise. Wo auch immer Sie tätig sind, können Sie sich auf unsere auf Ihre Region zugeschnittene Unterstützung verlassen.
Unterstützung durch Anwendungsingenieure mit langjähriger Erfahrung
Unser Team aus erfahrenen Anwendungsingenieuren verfügt über jahrzehntelange Erfahrung in der fluidischen Mess- und Regeltechnik. Sie verstehen Ihre Herausforderungen und arbeiten eng mit Ihnen zusammen, um Ihr System zu optimieren und präzise, wiederholbare Ergebnisse zu erzielen.
Unsere Instrumente für die Halbleiterindustrie
EL-FLOW Select
Massendurchflussmesser und -regler für Gase im Labor
Für 0,014 mln/min - 1670 ln/min
Genauigkeit ****
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MASS-STREAM
Inline-Massendurchflussmesser und -regler für Industriegase
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Genauigkeit ***
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Niedriger Druckverlust
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