技術仕様
流体のタイプ
ドライでクリーンな非腐食性ガス
流量測定原理
Thermal
シリーズ範囲
0.2mln/min～5ln/minの場合
精度
< ±1.5% Rd + ±0.5% FS
繰り返し性
流量20mln/min未満の場合： < ±0.2% FS; 20mln/minを超える流量： < ±0.5% Rd
最大 最大圧力 bar(g)
10
運転温度
5...+50°C
侵入保護
IP40
IQ+FLOWモデル
超小型流量計とコントローラーは、スペースが限られているデスクトップ機器や機器メーカーでの使用に最適です。流量センサーはMEMSテクノロジーに基づいています。
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IQF-100C
気体用マイクロ流体マスフローメータ
最小0.2...10mln/分
最大0.1...5ln/分
10 bar(g)
ダウンロード＆仕様
IQF-200C
ガス用マイクロフルイディックマスフローコントローラ
最小0.2...10mln/分
最大0.1...5ln/分
10 bar(g)
ダウンロード＆仕様
IQFD-100C
ガス用マイクロ流体マスフローメータ、ダウンポート型
最小0.2...10mln/分
最大0.1...5ln/分
10 bar(g)
ダウンロード＆仕様
IQFD-200C
気体用マイクロ流体マスフローコントローラ、ダウンポート
最小0.2...10mln/分
最大0.1...5ln/分
10 bar(g)
ダウンロード＆仕様
ダウンロード
取扱説明書
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PDF
Manual IQ- FLOW (9.17.045)
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PDF
Manual RS232 interface (9.17.027)
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PDF
Quick Start Guide IQ-FLOW (9.17.177)
証明書
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PDF
EU Declaration of Conformity instruments
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PDF
EU Declaration of Conformity RoHS
カタログ
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PDF
Brochure IQ-FLOW
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