技術仕様
定格圧力
100バール
最高加熱温度
200°C
イングレス・プロテクション
IP40
接液部材質
ステンレス鋼 316L または同等品
最大容量 - 液体
2g/h〜1200g/h H2O; 3 g/h - 6000 g/h TEOS
最大容量 - ガス
4 ln/分～100 ln/分
ダウンロード
取扱説明書
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Manual CEM (9.17.126)
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Manual Vapor Delivery Module (9.17.079)
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Quick Installation Guide CEM (9.17.130)
配線図
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 10Xa 202A (9.16.109)
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Hook Up Diagram CEM W-101A/W-102A/W-202A (9.16.086)
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 303B 230V (9.16.111)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 230V (9.16.115)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 120V (9.16.116)
証明書
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EU Declaration of Conformity CEM 230V
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EU Declaration of Conformity RoHS
カタログ
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Brochure CEM
CEMはどこで使われているのか？
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