CEM evaporator

CEMシステム（制御気化・混合システム）は、大気圧プロセスと真空プロセスの両方で使用できるように設計された、先進的な液体供給システム（LDS）です。このシステムは、熱式またはコリオリ式の液体流量コントローラ、キャリアガスの質量流量コントローラおよび温度制御された混合・気化装置を組み合わせることで、安定的かつ正確な蒸気生成を実現します。

蒸気流量制御についてもっと詳しく知りたいですか？当社のフローアカデミーの記事蒸気流量制御の理論をご覧ください。

気化システムCEMは、どのような流量範囲で使用できますか？

CEMの蒸気供給システムは、幅広いプロセス条件や前駆体種に対応し、柔軟かつ正確で信頼性の高い蒸気生成を実現するように設計されています。ヒーター出力は10～1000W、液体流量は水で約1～1200 g/h、TEOSで最大6000 g/hの範囲に対応しており、低流量の溶媒蒸発から高スループットの前駆体供給まで、あらゆる用途をサポートします。

気化システムCEMはどのように使えばいいですか？

コンパクトなコリオリ式液体流量コントローラと組み合わせることで、本システムは幅広い種類の流体を正確に処理します。これには、水、溶媒、および低蒸気圧の前駆体が含まれます。さらに、オンラインツールFLUIDAT®は、特定の流体、混合物、レシピ、および運転条件に対して最適な蒸発および温度設定を決定するのに役立ちます。 真空から10 MPaまでの圧力範囲に対応するCEMシステムは、事実上あらゆるアプリケーションシナリオにおいて、安定かつ再現性の高い蒸気生成を実現します。

気化装置システムCEMは非常に柔軟性が高く、当社の製品ラインナップにある複数の機器と組み合わせることができます。以下に、可能な構成の一例をご紹介します。最適なセットアップについては、お近くの営業担当者までお問い合わせください。