Wie funktioniert ein CEM-System (Controlled Evaporation & Mixing)?

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Technische Daten

Druckstufe
100 bar
Max. Heiztemperatur
200°C
Schutzart
IP40
Material der medienberührten Teile
Edelstahl 316L oder gleichwertig
Kapazität – Flüssigkeit
Von 2 g/h bis 1200 g/h H₂O; 3 g/h bis 6000 g/h TEOS
Kapazität des Trägergases
Von 50 mln/min bis 100 l/min

Was ist ein CEM-Verdampfungssystem?

Das CEM-System (Controlled Evaporation and Mixing) ist ein hochmodernes Flüssigkeitszufuhrsystem (LDS), das für den Einsatz sowohl in atmosphärischen als auch in Vakuumprozessen konzipiert ist. Es vereint einen thermischen oder Coriolis-Durchflussregler für Flüssigkeiten, einen Massendurchflussregler für Trägergas sowie eine temperaturgesteuerte Misch- und Verdampfungsvorrichtung, um eine stabile und präzise Dampferzeugung zu gewährleisten.

Möchten Sie mehr über kontrollierten Dampfdurchflusses erfahren? Lesen Sie unseren Artikel in der Flow Academy: Die Theorie hinter der Steuerung des Dampfdurchflusses.

Anleitung zur Verwendung des CEM-Verdampfungssystems

Für welche Durchflussbereiche kann ich ein CEM-Verdampfungssystem verwenden?

Das CEM-Verdampfersystem ist für eine flexible, präzise und zuverlässige Dampferzeugung unter einer Vielzahl von Prozessbedingungen und -vorstufen ausgelegt. Mit Heizleistungen von 10 bis 1000 W und Flüssigkeitsdurchflussbereichen von ca. 1 bis 1200 g/h Wasser und bis zu 6000 g/h TEOS deckt es alle Anwendungsbereiche ab, von der Verdampfung von Lösungsmitteln bei geringem Durchfluss bis hin zur Precursor Dosierung mit hohem Durchsatz.

Wie verwende ich ein CEM-Verdampfersystem?

In Kombination mit einem kompakten Coriolis-Durchflussregler gewährleistet das System die präzise Handhabung einer Vielzahl von Flüssigkeiten. Dazu gehören Wasser, Lösungsmittel und Precursor mit niedrigem Dampfdruck. Darüber hinaus unterstützt das Online-Tool FLUIDAT® den Anwender bei der Ermittlung der optimalen Verdampfungs- und Temperatureinstellungen für bestimmte Flüssigkeiten, Gemische, Rezepturen und Betriebsbedingungen. Mit einem Druckbereich von Vakuum bis zu 100 bar liefert das CEM-System eine stabile, reproduzierbare Dampferzeugung für nahezu jedes Anwendungsszenario.  

Mögliche Konfigurationen

Das CEM-Verdampfersystem ist sehr flexibel und lässt sich mit zahlreichen Geräten aus unserem Portfolio kombinieren. Hier einige Beispiele für mögliche Konfigurationen. Für die richtige Konfiguration wenden Sie sich bitte an Ihren lokalen Ansprechpartner. 

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