기술 사양
시리즈 별 범위 텍스트
건조하고 깨끗하며 비부식성 가스
유량 측정 원리
Thermal
시리즈 범위
0.2 mln/min - 5 ln/min의 경우
정확도
< ±1.5% Rd + ±0.5% FS
재현성
유량 <20mln/min의 경우: < ±0.2% FS; 유량이 20mln/min을 초과하는 경우: < ±0.5% Rd
최대 운용 압력 bar(g)
10
작동 온도
5...+50°C
IP 보호 등급
IP40
IQ+FLOW 모델
초소형 유량계 및 컨트롤러는 공간이 제한된 데스크톱 장비 및 장비 제조업체에서 사용하기에 이상적입니다. 유량 센서는 MEMS 기술을 기반으로 합니다.
모델 검색
IQF-100C
가스용 미세 유체 질량 유량계
최소 0.2...10 mln/min
최대. 0.1...5 ln/min
10 bar(g)
다운로드 & 사양
IQF-200C
가스용 미세 유체 질량 유량 컨트롤러
최소 0.2...10 mln/min
최대. 0.1...5 ln/min
10 bar(g)
다운로드 & 사양
IQFD-100C
가스용 마이크로 유체 질량 유량계, 다운포트
최소 0.2...10 mln/min
최대. 0.1...5 ln/min
10 bar(g)
다운로드 & 사양
IQFD-200C
가스용 미세 유체 질량 유량 컨트롤러, 다운포트
최소 0.2...10 mln/min
최대. 0.1...5 ln/min
10 bar(g)
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메뉴얼
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PDF
Manual IQ- FLOW (9.17.045)
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PDF
Manual RS232 interface (9.17.027)
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PDF
Quick Start Guide IQ-FLOW (9.17.177)
인증서
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PDF
EU Declaration of Conformity instruments
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PDF
EU Declaration of Conformity RoHS
브로셔
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PDF
브로셔 IQ-FLOW
