기술 사양

시리즈 별 범위 텍스트

건조하고 깨끗하며 비부식성 가스

유량 측정 원리

Thermal

시리즈 범위

0.2 mln/min - 5 ln/min의 경우

정확도

< ±1.5% Rd + ±0.5% FS

재현성

유량 <20mln/min의 경우: < ±0.2% FS; 유량이 20mln/min을 초과하는 경우: < ±0.5% Rd

최대 운용 압력 bar(g)

10

작동 온도

5…+50°C

IP 보호 등급

IP40

IQ+FLOW 모델

초소형 유량계 및 컨트롤러는 공간이 제한된 데스크톱 장비 및 장비 제조업체에서 사용하기에 이상적입니다. 유량 센서는 MEMS 기술을 기반으로 합니다.

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IQF-100C
가스용 미세 유체 질량 유량계

최소 0.2...10 mln/min

최대. 0.1...5 ln/min

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IQF-200C
가스용 미세 유체 질량 유량 컨트롤러

최소 0.2...10 mln/min

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IQFD-100C
가스용 마이크로 유체 질량 유량계, 다운포트

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Control valves

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다양한 가스, 액체 또는 압력 제어 애플리케이션용

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