기술 사양
압력 등급
100 바
최대 가열 온도
200°C
인그레스 보호
IP40
소재 습식 부품
스테인리스 스틸 316L 또는 동급
최대 용량 – 액체
2g/h~1200g/h H2O; 3 g/h - 6000 g/h TEOS
최대 용량 - 가스
4 ln/min - 100 ln/min
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메뉴얼
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Manual CEM (9.17.126)
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Manual Vapor Delivery Module (9.17.079)
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Quick Installation Guide CEM (9.17.130)
연결 다이어그램
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 10Xa 202A (9.16.109)
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Hook Up Diagram CEM W-101A/W-102A/W-202A (9.16.086)
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 303B 230V (9.16.111)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 230V (9.16.115)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 120V (9.16.116)
인증서
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EU Declaration of Conformity CEM 230V
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EU Declaration of Conformity RoHS
브로셔
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Brochure CEM
