鑽石製造中可靠的流量控制

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印度是這一領域的領先國家之一。Bronkhorst與頂級機器製造商合作，提供生長高品質 CVD 鑽石的質量流量控制器和壓力控制器

為了生產實驗室生長的鑽石，需要將甲烷和氫氣等氣態反應物引入低壓反應器中。在微波輻射的影響下，這些氣體轉變成活性化合物（電漿體），黏附在反應室內的微小鑽石晶種上。沉積物一層一層地遵循晶種的結構，逐漸形成更大的鑽石。這個過程通常需要 300 到 600 小時——相當長的時間，但比天然鑽石短得多。經過切割和拋光後，這些實驗室培育的鑽石具有與天然鑽石相同的物理、化學和光學特性

應用需求

在批量化學氣相沉積 (CVD) 製程中，需要保持恆定的極低壓力（高真空）。此外，在整個過程中，氣態反應物需要以相同的恆定流量供應到反應器。

重要主題

質量流量控制器和壓力控制器具有良好的可靠性和再現性

在製造過程中的較長時期內始終保持鑽石的卓越品質

了解CVD工藝

製程解決方案

Bronkhorst 的EL-PRESS壓力控制器用於確保電漿體室內所需的低壓恆定值。

EL-FLOW Select 熱質式質量流量控制器用於精確控制供應至反應器的氣體流量。甲烷CH4) 用作碳前驅體，並向反應器供應氫氣 (H2) 以幫助鑽石形成。根據客戶的不同，可以提供其他氣體，如氮氣 (N2)、氬氣 (Ar) 和氧氣 (O2)。氫氣的典型流量為低流量狀態（約 1000 毫升/分鐘），甲烷和其他氣體的流量為低至超低流量狀態。即使在 3 毫升/分鐘及以下的超低設定值下，Bronkhorst裝置也能精確控制流量。

Option 1: EL-FLOW Select & EL-PRESS models

無洩漏、穩定且精準的鑽石生產

透過與全球相關系統製造商合作並了解他們的具體要求，Bronkhorst成功提供了無洩漏精確流量控制和穩定壓力控制的解決方案——這是確保高品質鑽石的關鍵因素。根據客戶的需求，Bronkhorst 提供 EL-PRESS 壓力控制器和 EL-FLOW Select  熱質量流量控制器的各種組合。這些設備支援不同的通訊協議，包括 Modbus、FLOW-BUS 和 Profibus。

在低電壓應用中使用這些設備的一個優點是它們固有的執行控制操作的能力，而不會出現明顯的洩漏，從而確保穩定和準確的製程條件。它們的快速反應時間和較短的穩定時間進一步提高了鑽石生產的效率。

Option 2: FLOW SMS module

作為一種經濟的解決方案，Bronkhorst提供 FLOW-SMS 設置，旨在滿足客戶對空間效率的需求。這些緊湊的表面安裝子系統將質量流量或壓力感測器模組與（控制）閥和其他功能配件整合在一起，所有這些都根據客戶規格安裝在導軌系統上。此外，MANI-FLOW 系列提供類似的客戶特定設置，現在安裝在緊湊的歧管上。

Bronkhorst在全球開展業務，在多個國家提供銷售和服務支援。這確保了 CVD 鑽石系統建造者得到及時的幫助。結合對 CVD 製程和市場需求的深入了解，Bronkhorst成為值得信賴的合作夥伴，為客戶提供可靠的解決方案。