Flow controllers voor lab-grown diamanten (CVD diamanten)

Bronkhorst EL-PRESS drukregelaars worden gebruikt om de vereiste constante lage druk in de plasmakamer te garanderen. 
 
De EL-FLOW Select thermische massa flow regelaars worden gebruikt voor de nauwkeurige regeling van de gas flow naar de reactor. Methaan (CH4) wordt gebruikt als koolstofprecursor en waterstof (H2) wordt aan de reactor toegevoerd om de diamantvorming te bevorderen. Afhankelijk van de klant kunnen andere gassen zoals stikstof (N2), argon (Ar) en zuurstof (O2) worden toegevoegd. Typische flows zijn laag voor waterstof (ongeveer 1000 ml/min) en in het lage tot ultralage bereik voor methaan en andere gassen. Bronkhorst-instrumenten regelen de flow nauwkeurig, zelfs bij ultralage setpoints in het bereik van 3 ml/min en lager. 

Door wereldwijd samen te werken met relevante systeembouwers en hun specifieke eisen te begrijpen, heeft Bronkhorst met succes een oplossing geleverd voor lekvrije nauwkeurige flowregeling en stabiele drukregeling - kritische factoren voor het waarborgen van diamanten van hoge kwaliteit. Afhankelijk van de behoeften van de klant levert Bronkhorst verschillende combinaties van EL-PRESS drukregelaars en EL-FLOW Select thermische massa flow regelaars. Deze instrumenten ondersteunen verschillende communicatieprotocollen, waaronder Modbus, FLOW-BUS en PROFIBUS. 

Een voordeel van het gebruik van deze instrumenten in lagedruktoepassingen is hun inherente vermogen om regelbewerkingen uit te voeren zonder noemenswaardige lekkage, waardoor stabiele en nauwkeurige procesomstandigheden worden gegarandeerd. Hun snelle responstijd en lage settling time maken ze nog effectiever in de diamantproductie.

Als economische oplossing biedt Bronkhorst de FLOW-SMS opstelling, ontworpen om tegemoet te komen aan de behoefte van de klant aan ruimte-efficiëntie. Deze compacte Surface Mount Sub-systemen integreren massa flow- of druksensormodules met (regel)kleppen en andere functionele accessoires, allemaal gemonteerd op een railsysteem volgens klantspecificaties. Daarnaast biedt de MANI-FLOW serie een vergelijkbare klantspecifieke opstelling, nu gemonteerd op een compact manifold. 

Bronkhorst is wereldwijd actief en biedt verkoop- en serviceondersteuning in verschillende landen. Dit zorgt ervoor dat bouwers van CVD-diamantsystemen tijdig worden geholpen. In combinatie met een diepgaande kennis van het CVD-proces en de eisen van de markt, fungeert Bronkhorst als een betrouwbare partner die klanten betrouwbare oplossingen biedt.