技術規格

流體類型
流量測量原理

Thermal

系列範圍

為 0.2 mln/min - 5 ln/min

精度
重複性
最大值。壓力 bar(g)

10

操作溫度

5...+50°C

防護等級

IP40

IQ+FLOW 機型

超小型流量計和控制器非常適合空間有限的桌上型設備以及設備製造商使用。流量感測器採用 MEMS 技術。

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IQF-100C
氣體用微流體質量流量計

最小值 0.2...10 毫升n/每分鐘

最大。 0.1...5 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
IQF-200C
氣體用微流體質量流量控制器

最小值 0.2...10 毫升n/每分鐘

max. 0.1...5 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
IQFD-100C
用於氣體的微型流體質量流量計,下口式

最小值 0.2...10 毫升n/每分鐘

max. 0.1...5 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格
IQFD-200C
用於氣體的微流體質量流量控制器,下端口

最小值 0.2...10 毫升n/每分鐘

max. 0.1...5 ln/每分鐘

10 bar(g)

下載與規格

下載

手冊

  • PDF

    Manual IQ- FLOW (9.17.045)

  • PDF

    Manual RS232 interface with ProPar protocol(9.17.027)

  • PDF

    Quick Start Guide IQ-FLOW (9.17.177)

連接圖

  • PDF

    916101 Hook Up Diagram IQ+FLOW RS232 RS485

  • PDF

    916101 Hook Up Diagram IQ+FLOW RS232 RS485

  • PDF

    916101 Hook Up Diagram IQ+FLOW RS232 RS485

證書

  • PDF

    EU Declaration of Conformity instruments (9.06.021)

  • PDF

    EU Declaration of Conformity RoHS

小冊子

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手冊 IQ-FLOW

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Control valves

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