技術規格
壓力等級
100 bar
最高加熱溫度
200°C
侵入保護
IP40
材料濕部件
不銹鋼 316L 或同類材質
最大容量 - 液體
從 2 g/h - 1200 g/h H2O; 3 g/h - 6000 g/h TEOS
最大容量 - 燃氣
從 4 ln/min - 100 ln/min
下載
手冊
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Manual CEM (9.17.126)
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Manual Vapor Delivery Module (9.17.079)
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Quick Installation Guide CEM (9.17.130)
連接圖
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 10Xa 202A (9.16.109)
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Hook Up Diagram CEM W-101A/W-102A/W-202A (9.16.086)
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Hook Up Diagram E 8000 CEM W 303B 230V (9.16.111)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 230V (9.16.115)
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Hook Up Diagram CEM W-303B 120V (9.16.116)
證書
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EU Declaration of Conformity CEM 230V
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EU Declaration of Conformity RoHS
小冊子
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Brochure CEM
