IQ+FLOW® 超緊湊型壓力計/控制器
基於 MEMS 技術的壓力傳感器
設備製造商正在尋找緊湊的解決方案來監測或控制其係統中的氣體流量或壓力。 以前，傳統的質量流量計和壓力計和控制器需要佔地面積為 1.5"，例如 NeSSI™ 系統中指定的尺寸。
現在，通過與 TNO-TPD（領先的荷蘭應用物理研究所）的密切合作，Bronkhorst 開發了 IQ+FLOW® 質量流量傳感器。 由於使用微固態技術 (MEMS)，Bronkhorst 已能夠將封裝尺寸減半至 0.75"，從而實現超緊湊的流量和壓力計和控制器。
- 最低範圍 0,01...0,5 bar
- 最高範圍 0,2...10 bar
客戶特定設計
基於 IQ+FLOW® 系列的微系統技術，Bronkhorst 還提供了在緊湊型歧管上組合功能模塊的可能性。查看 IQ+FLOW 歧管解決方案。
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