CEM evaporator

CEM(Controlled Evaporation and Mixing) 시스템은 대기압 및 진공 공정 모두에 적용 가능한 고급형 액체 공급 시스템(LDS) 입니다. 이 시스템은 열식 또는 코리올리 방식의 액체 유량 컨트롤러, 캐리어 가스용 질량 유량 컨트롤러, 온도 제어형 혼합 및 기화 장기를 하나의 시스템으로 결합하여, 안정적이고 정밀한 증기 생성을 가능하게 합니다.

증기 유량 제어에 대해 더 자세히 알고 싶으신가요? 플로우 아카데미의 기사에서 확인해 보세요: 증기 유량 제어의 기본 원리

CEM 기화 시스템은 어떤 유량 범위에서 사용할 수 있나요?

CEM 기화 시스템은 다양한 공정 조건과 전구체 유형 전반에 걸쳐 유연하고 정밀하며 신뢰성 높은 증기 생성을 위해 설계되었습니다. 10~1000W의 가열 용량과 약 1~1200 g/h(물 기준 ) 및 최대 6000 g/h(TEOS 기준)의 액체 유량 범위를 지원하여, 저유량 용매 기화 공정부터 대유량 전구체 공급까지 폭넓게 적용할 수 있습니다.

CEM 기화 시스템을 어떻게 사용할 수 있나요?

컴팩트한 코리올리 액체 유량 컨트롤러와 결합된 이 시스템은 다양한 유체를 정밀하게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 물, 용매는 물론 낮은 증기압을 가진 전구체까지 폭넓은 유체에 적용할 수 있습니다. 또한, 온라인 도구인 FLUIDAT®을 통해 특정 유체, 혼합물, 레시피 및 운전 조건에 최적화된 증발 및 온도 설정을 손쉽게 확인할 수 있습니다. 진공에서 최대 100bar에 이르는 압력 범위를 지원하는 CEM 시스템은 거의 모든 애플리케이션 환경에서 안정적이고 재현성 높은 증기 생성을 제공합니다.  

CEM 기화기 시스템은 매우 유연한 구성으로, 브롱호스트의 다양한 유량계와 결합하여 사용할 수 있습니다. 다음은 가능한 구성의 몇 가지 예시입니다. 최적의 시스템 구성을 위해서는 가까운 브롱호스트 현지 영업 담당자에게 문의해 주세요.