CEM evaporator

CEM 氣液混合蒸發系統（Controlled Evaporation and Mixing）為一種液體輸送系統，可應用於常壓與真空製程。系統整合熱式或科氏力液體流量控制器、載氣質量流量控制器，以及具溫度控制的混合與蒸發單元，以確保蒸氣生成穩定且精準。

想進一步了解蒸氣流量控制原理嗎？歡迎參考 Flow Academy 文章：蒸氣流量控制原理說明.

CEM 氣液混合蒸發系統適用的流量範圍為何？

CEM 氣液混合蒸發系統可在多種製程條件與前驅物應用下，提供穩定且精準的蒸氣產生能力。系統加熱功率範圍涵蓋 10 至 1000 W，液體流量範圍約為 1 to 1200 g/h water以及 6000 g/h TEOS，可同時滿足低流量溶劑蒸發與高通量前驅物供給等應用需求。

實務上如何操作CEM 氣液混合蒸發系統？

搭配體積精巧的科氏力液體流量控制器，CEM 氣液混合蒸發系統可精準處理多種流體，包括水、各類溶劑，以及低蒸氣壓前驅物。此外，Bronkhorst的線上工具 FLUIDAT® 可協助您依照特定流體、混合比例、製程配方與操作條件，快速判斷合適的蒸發與溫度設定。CEM 系統的操作壓力範圍可由真空至 100 bar，在各種製程條件下皆能提供穩定且具高度再現性的蒸氣產生表現，適用於大部分的應用情境。 

CEM 氣液混合蒸發系統具備高度彈性，可搭配 Bronkhorst 產品線中的多種儀表，組成不同的系統架構。以下為部分常見配置範例；如果需要建議產品或系統組合，歡迎聯絡我們。