3. Dépôt sous vide par pulvérisation réactive
“La pulvérisation réactive est une technique de dépôt sous vide utilisée pour appliquer des revêtements anti-reflets, durcisseurs, anti-usure, anti-corrosion, etc. Les régulateurs de débit massique jouent un rôle essentiel dans ce procédé pour l’apport en gaz.
Nous avons découvert que la "réponse rapide" est une caractéristique importante des régulateurs de débit pour cette technique de dépôt. Le nouveau régulateur de débit de gaz comporte un capteur qui peut réagir très rapidement aux changements de points consigne (en moins de 150 millisecondes). Nous avons appris que les applications de pulvérisation réactive peuvent bénéficier de la large plage de débit dynamique, qui permet de réguler les débits de gaz de 0,5 mln/min à 20 ln/min. Consultez la note d’application pour en savoir plus sur les régulateurs de débit adaptés à cette application.”