Principe de mesure du débit massique thermique

Les débitmètres massiques et les régulateurs de débit massique thermiques utilisent la conductivité thermique des fluides – gaz et liquides – pour déterminer le débit massique. Contrairement aux dispositifs de mesure du débit volumétrique tels que les compteurs à purge (débitmètres à section variable ou VA) ou les compteurs à turbine, les débitmètres massiques thermiques (MFM) et les régulateurs de débit massique thermiques (MFC) sont relativement insensibles aux fluctuations de température et de pression du flux entrant.

Principe de mesure des débitmètres massiques et des régulateurs de débit massique thermiques

Le débitmètre massique ou le régulateur de débit massique thermique est capable de mesurer directement le débit massique, contrairement à la plupart des autres méthodes qui mesurent le débit volumétrique et requièrent des données séparées pour la température et la pression afin de calculer la densité et, enfin, le débit massique.

En fait, ces instruments de débit thermique mesurent et régulent le flux au niveau moléculaire et sont donc capables de fournir du gaz de façon extrêmement précise, reproductible et fiable au niveau du processus.

Les débitmètres massiques et les régulateurs de débit massique se différencient selon 3 principes de capteur :