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Quels sont les gaz intégrés dans le débitmètre massique/régulateur de débit massique EL-FLOW® Prestige ?

Les propriétés des gaz varient en fonction des changements de température et de pression. Les débitmètres / régulateurs de débit massique thermique EL-FLOW Prestige utilisent la température réelle mesurée (et la pression en option) pour le calcul intégré en temps réel des propriétés des fluides. C'est pourquoi, les débitmètres et régulateurs de débit EL-FLOW Prestige ont une base de données embarquée (“Fluidat-On-Board”) avec les propriétés des fluides suivants :  

Gaz intégrés dans le débitmètre massique / régulateur de débit massique thermique EL-FLOW® Prestige

Modèles EL-FLOW® Prestige, fabriqués jusqu'en décembre 2018 Modèles EL-FLOW® Prestige, fabriqués depuis janvier 2019
Formule Nom Formule Nom Formule Nom
Air Air Air Air CH3Cl Chlorométhane
Ar Argon Ar Argon CH3F Fluorométhane
C2F6 Fréon-116 AsH3 Arsine CH4 Méthane
C2H2 Acétylène B2H6 Diborane CH4S Méthanethiol
C2H4 Éthène BCI3 Trichlorure de bore CH5N Aminométhane
C2H6 Éthane BF3 Trifluorure de bore CHCl2F Dichlorofluorométhane
C3H6 #2 Propène C2CI2F4 #2 Fréon-114 CHClF2 Chlorodifluorométhane
C3H8 Propane C2Cl3F3 Fréon-113 CHF3 Fréon-23
CH4 Méthane C2ClF5 Fréon-115 Cl2 Chlore
Cl2 Chlore C2F4 Perfluoroéthène ClCN Chlorure de cyanogène
CO Monoxyde de carbone C2F6 Fréon-116 ClF3 Trifluorure de chlore
CO2 Dioxyde de carbone C2H2 Acétylène CO Monoxyde de carbone
H2 Hydrogène C2H2F2 #1 Fréon-134 CO2 Dioxyde de carbone
H2S Sulfure d'hydrogène C2H3Br Bromure de vinyle COCl2 Oxychlorure de carbone
He Hélium C2H3Cl Chloroéthène COF2 Fluorure de carbonyle
Kr Krypton C2H3F Fluoroéthène COS Oxysulfure de carbone
N2 Azote C2H4 Éthène CS2 Disulfure de carbone
N2O Oxyde nitreux C2H4O #2 Epoxyéthane D2 #1 Deutérium
NF3 Trifluorure d'azote C2H5Cl Chloroéthane F2 Fluor
NH3 Ammoniaque C2H6 Éthane GeH4 Germane
NO Oxyde nitrique C2H6O #1 Éther méthylique H2 Hydrogène
O2 Oxygène C2H7N #2 Diméthylamine H2S Sulfure d'hydrogène
SF6 Hexafluorure de soufre C2H7N #3 Monoéthylamine H2Se Séléniure d'hydrogène
SiH4 Silane C2N2 Cyanogène HBr Bromure d'hydrogène
    C3F8 Propane perfluoré HCl Chlorure d'hydrogène
    C3H4 #1 Allène HCN Cyanure d'hydrogène
    C3H4 #2 Méthylacétylène He Hélium
    C3H6 #1 Cyclopropane HF Fluorure d'hydrogène
    C3H6 #2 Propène HI Iodure d'hydrogène
    C3H8 Propane Kr Krypton
    C3H9N #3 Triméthylamine MoF6 Hexafluorure de molybdène
    C4F8 Fréon-C318 N2 Azote
    C4H10 #1 n-Butane N2O Oxyde nitreux
    C4H10 #2 Isobutane Ne Néon
    C4H6 #3 1,3-Butadiène NF3 Trifluorure d'azote
    C4H6 #4 1-Butyne NH3 Ammoniaque
    C4H8 #1 Cyclobutane NO Oxyde nitrique
    C4H8 #2 1-Butène O2 Oxygène
    C4H8 #3 Butène (2-) (cis) OF2 Difluorure d'oxygène
    C4H8 #4 Butène (2-) (trans) PH3 Phosphine
    C4H8 #5 2-Methylpropène SF4 Tétrafluorure de soufre
    C5H12 #2 2,2-Diméthyl Propane SF6 Hexafluorure de soufre
    C5H12 #3 n-Pentane Si2H6 Disilane
    CBr2F2 Dibromodifluorométhane SiH2Cl2 Dichlorosilane
    CBrF3 Bromotrifluorométhane SiH4 Silane
    CCl2F2 Dichlorodifluorométhane SiHCl3 Trichlorosilane
    CCl3F Fluorotrichlorométhane SO2 Dioxyde de soufre
    CClF3 Chlorotrifluorométhane WF6 Hexafluorure de tungstène
    CF4 Tétrafluorure de carbone Xe Xénon
    CH3Br Bromométhane    

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