サーマルマスフローメータ・コントローラをその機器が校正されている流体以外に使えますか？

しかしながら、先ずは機器に採用されているシール材質が新たな流体（ガスや液体）に適用可能であるか確認が必要です。更に、サーマルマスフローメータを用いる際、新たな流体の熱力学的性質が異なる場合、コンバージョンファクタ（CF = conversion factor、換算係数）の使用が必要です。

他に影響する要素はバルブのKv値です。機器が当初適していた流量レンジに対して、新たな流体では適正な流量レンジが変化することがあり、流体によっては劇的な変化があります。

サーマルマスフローメータとは異なり、コリオリ測定原理や超音波測定原理を採用している流量計は流体依存性がないため、他の流体を用いる際に換算が不要です。しかしながら、液体用流量計・調節計で流体を変える場合、機器の圧力損失が異なる場合があります。