Bronkhorst
Chemical

Halfgeleider, flat screen en led-verlichting industrie

Oorspronkelijk werden thermische massa Flowmeters en regelaars in de jaren zeventig ontwikkeld voor de afzetting van gasdamp in halfgeleiderfabricageprocessen. De halfgeleidermarkt is nog steeds een enorme markt voor leveranciers van MFC's zoals Bronkhorst. Door te luisteren naar de eisen uit deze markt en nieuwe en betere producten voor de levering van gas, vloeistof en damp te introduceren, werd Bronkhorst een belangrijke leverancier voor de Semiconductor, Flat Panel Display en LED industrie. Met "metal sealed" instrumenten, snel reagerende MFC's, innovatieve directe vloeistofinjectiesystemen en geïntergreerde veldbusinterfaces (Profibus, Profinet, DeviceNet, Modbus, EtherCAT, etc.) heeft Bronkhorst een uitstekende reputatie opgebouwd binnen deze zeer geavanceerde en veeleisende markt.

Bekijk onze halfgeleider brochure

Voorbeelden van toepassingen

  • Afzetting van beschermlagen op wafers voor het in blokjes snijden van (laser-)blokjes
  • Metalen Organische chemische afzetting van organische dampen (Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD))
  • Atoomlaag depositie (Atomic Layer Deposition (ALD))
  • Dosering en regelen van superkritische vloeistoffen (bijv. superkritische CO2-reiniging)
  • Spuitcoating in Flat screens (flat-panel displays (FPD))


APPLICATION NOTES

Superkritisch gasmeting en -regeling

Vloeistoffen zoals kooldioxide (CO2) zijn moeilijk te meten wanneer ze zich naar de fase tussen het vloeibare en het gasstadium bewegen. Coriolis Mass Flow Meters worden aanbevolen voor deze toepassing.

Bekijk application note
afbeelding

Andere markten

Bronkhorst instrumenten worden gebruikt voor tal van toepassingen in vele verschillende markten. Ze zijn te vinden in laboratoria, universiteiten, industrie, productie en pilot plants, zelfs in gebieden of installaties met explosiegevaar. Een substantieel deel van de geproduceerde instrumenten is geïntegreerd in de productiemachines of apparatuur van zogenaamde OEM-klanten (Original Equipment Manufacturers).


Bronkhorst NEDERLAND

Lunet 10c
3905 NW Veenendaal
Tel. +31 0318 55 12 80
[email protected]

Copyright © 2019 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note