Bronkhorst
Chemical

Halfgeleider, flat screen en led-verlichting industrie

Oorspronkelijk werden thermische massa Flowmeters en regelaars in de jaren zeventig ontwikkeld voor de afzetting van gasdamp in halfgeleiderfabricageprocessen. De halfgeleidermarkt is nog steeds een enorme markt voor leveranciers van MFC's zoals Bronkhorst. Door te luisteren naar de eisen uit deze markt en nieuwe en betere producten voor de levering van gas, vloeistof en damp te introduceren, werd Bronkhorst een belangrijke leverancier voor de Semiconductor, Flat Panel Display en LED industrie. Voor chemische opdamptechnieken (CVD), spuitcoating voor flat panel display (FPD) en atoomlaagafzetting (ALD) leveren wij flowmeters en flowregelaars voor directe vloeistofinjectiesystemen.

Bekijk onze halfgeleider brochure

Voorbeelden van toepassingen

  • Afzetting van beschermlagen op wafers voor het in blokjes snijden van (laser-)blokjes
  • Metalen Organische chemische afzetting van organische dampen (Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD))
  • Atoomlaag depositie (Atomic Layer Deposition (ALD))
  • Dosering en regelen van superkritische vloeistoffen (bijv. superkritische CO2-reiniging)
  • Spuitcoating in Flat screens (flat-panel displays (FPD))


APPLICATION NOTES

Gasmeting voor superkritische fase

Vloeistoffen zoals koolstofdioxide (CO2) zijn moeilijk te meten in de superkritische fase. Coriolis massflowmeters worden aanbevolen voor deze toepassing.

Lees onze application note (engelstalig)
afbeelding

Andere markten

Bronkhorst instrumenten worden gebruikt voor tal van toepassingen in vele verschillende markten. Ze zijn te vinden in laboratoria, universiteiten, industrie, productie en pilot plants, zelfs in gebieden of installaties met explosiegevaar. Een substantieel deel van de geproduceerde instrumenten is geïntegreerd in de productiemachines of apparatuur van zogenaamde OEM-klanten (Original Equipment Manufacturers).


Bronkhorst NEDERLAND

Lunet 10c
3905 NW Veenendaal
Tel. +31 (0)318 55 12 80
[email protected]

Copyright © 2020 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note