{"column":{"component":"Media","content":{"media":{"src":{"mobile":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=668&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0","tablet":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=1145&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0","desktop":"/media/ag4jc1wc/mocvd-semiconductor-industry.jpg?width=1642&height=0&format=webp&v=1dc70b29f2405e0"},"alt":"MOCVD in de halfgeleidermarkt","type":"image","link":{},"width":668,"height":0},"caption":""}}}
Toepassingsvereisten
Het gebruik van flow regelaars voor de waterstofgasvoorziening kan het MOCVD-proces en daarmee de productkwaliteit verbeteren. Stabiele flowomstandigheden en een snelle reactietijd van de flow regelaar is hier belangrijk.
Belangrijke onderwerpen
Belangrijke onderwerpen
Precisie en stabiliteit bij de regulering van de waterstof flow
Snelle respons met metal-sealed flow- en druk regelaars
Full-service en customer support
Procesoplossing
Om de kwaliteit van het MOCVD-proces – en daarmee de LED-output – te verbeteren, levert Bronkhorst EL-FLOW Metal Sealed flowinstrumenten voor integratie in de MOCVD-apparatuur.
Deze instrumenten regelen de flow van het waterstofdragergas, wat cruciaal is voor de processtabiliteit. De flow rate heeft een directe invloed op de deposition rate van LED-componenten, waardoor een nauwkeurige regeling essentieel is.
Voor deze toepassing worden EL-FLOW instrumenten van verschillende groottes gebruikt, variërend van kleine units die 20 sccm verwerken tot grotere units die 20 slm verwerken. Hun betrouwbare metaal-op-metaal afdichting en de hoogwaardige oppervlakteafwerking voldoet aan de veeleisende normen van de halfgeleider- en zonne-energiemarkten.
Daarnaast maken EL-PRESS Metal Sealed druk regelaars deel uit van de opstelling. Het gebruik van deze instrumenten resulteert in een stabiele waterstof flow met een snelle reactie op veranderende procesomstandigheden, wat consistente prestaties en verbeterde procescontrole ondersteunt.
Full-Service Support
Bronkhorst biedt full-service, inclusief kalibratie en reparatie. We komen ook bij klanten langs om hen te adviseren over optimaal gebruik van instrumenten en tips te geven voor procesverbetering. Dit niveau van support is ongeëvenaard door concurrerende leveranciers.
"Bronkhorst combineerde hoogwaardige instrumenten met uitzonderlijke service, waardoor ze zich onderscheiden van andere leveranciers."
Aanbevolen producten
EL-FLOW Select
Lab-style Massa Flow Meter/Regelaar voor Gassen
Voor 0,014 mln/min - 1670 ln/min
Nauwkeurigheid ****
Best verkopende allrounder voor gevarieerde toepassingen
Geschikt voor drukken tot 400 bar
Bekijk assortiment
Gerelateerde artikelen
Massa flow regelaars voor FOUP
Door Bronkhorst massa flow meters te implementeren in FOUP-reinigingsprocessen kunnen fabrikanten reinheid garanderen, het risico op verontreiniging verminderen en operationele efficiëntie optimaliseren, waardoor ze voldoen aan de huidige hoge eisen van de halfgeleiderindustrie.
Lees verder
Meting en regeling van superkritische vloeistoffen
Superkritische vloeistofprocessen vereisen meettechnologie die verder gaat dan conventionele methoden. Met Coriolis massa flow meters kunt u een consistente en nauwkeurige flow regeling realiseren. Zelfs onder snel veranderende fysieke omstandigheden bij het gebruik van superkritische vloeistoffen.