{"column":{"component":"Media","content":{"media":{"src":{"mobile":"/media/rmtn4gyc/wafer-foup-load-port.jpg?width=668&height=0&format=webp&v=1db73099425d990","tablet":"/media/rmtn4gyc/wafer-foup-load-port.jpg?width=1145&height=0&format=webp&v=1db73099425d990","desktop":"/media/rmtn4gyc/wafer-foup-load-port.jpg?width=1642&height=0&format=webp&v=1db73099425d990"},"alt":"Flow regeling in FOUP-proces","type":"image","link":{},"width":668,"height":0},"caption":""}}}
Halfgeleider productie is afhankelijk van extreem schone omgevingen om hoogwaardige siliciumwafers te produceren voor toepassingen zoals telecommunicatie, gaming en industriële elektronica. Tijdens de verwerking en opslag van wafers moet verontreiniging worden voorkomen. FOUP's (Front Opening Universal Pods) worden gebruikt om wafers tijdelijk op te slaan en tussen processtappen te verplaatsen. Om wafers te beschermen tegen vocht, deeltjes en zuurstof – die oxidatie kunnen veroorzaken en de geleidbaarheid kunnen verminderen – worden FOUP's gespoeld met ultrazuivere (UHP) stikstof of schone, droge lucht. Nauwkeurige controle van dit spoelproces is essentieel voor consistente prestaties en kostenefficiëntie.
Toepassingsvereisten
FOUP-systemen, waaronder Overhead Buffers (OHB) en Load Ports, spelen een cruciale rol bij de verwerking van wafers. De reinheid tijdens deze stappen heeft een directe invloed op de productopbrengst. Het purgeproces moet verontreinigingen tot een minimum beperken en tegelijkertijd een stabiele en herhaalbare gasflow garanderen. Leveranciers van halfgeleiderapparatuur hebben behoefte aan nauwkeurige oplossingen voor flowregeling die passen in compacte ontwerpen en voldoen aan strenge reinheidsnormen.
Belangrijke onderwerpen
Belangrijke onderwerpen
Kostenoptimalisatie
Compact ontwerp om de voetafdruk te verkleinen
Gecontroleerde en traceerbare productieprocessen
Nauwkeurigheid en herhaalbaarheid voor consistente purgeprestaties
Procesoplossing
Bronkhorst massa flow meters worden gebruikt om de purge flow van UHP-stikstof of schone droge lucht in FOUP-systemen te bewaken en te regelen. Oudere fabrieken gebruiken doorgaans schone droge lucht, terwijl nieuwere fabrieken de voorkeur geven aan UHP-stikstof voor een betere reinheid. De regelaars zorgen voor een nauwkeurige en stabiele flow, wat essentieel is voor het behoud van de integriteit van de wafers en het voorkomen van oxidatie. Door deze instrumenten te integreren, kunnen leveranciers van halfgeleiderapparatuur betrouwbare purgeprestaties bereiken, het gasverbruik optimaliseren en voldoen aan de strenge normen voor de moderne fabricage van wafers.
"Bronkhorst biedt ons de precisie die we nodig hebben voor betrouwbare FOUP-purging."
Aanbevolen producten
MASS-STREAM
In-line Massa Flow Meter/Regelaar voor Industriële Gassen
Voor 0,01 - 10.000 ln/min
Nauwkeurigheid ***
On-board gasdatabase
Lage drukval
Bekijk assortiment
Gerelateerde artikelen
Flowregeling in MOCVD
De metal sealed flow regelaars van Bronkhorst worden gebruikt in een MOCVD-proces voor de productie van LEDs om een nauwkeurige regeling van draaggas mogelijk te maken. Bronkhorst leverde niet alleen de flow regelaars, maar bood ook een ongeëvenaarde full-service ondersteuning – van kalibratie tot advies ter plaatse – om optimale prestaties voor deze klant te garanderen.
Lees verder
Meting en regeling van superkritische vloeistoffen
Superkritische vloeistofprocessen vereisen meettechnologie die verder gaat dan conventionele methoden. Met Coriolis massa flow meters kunt u een consistente en nauwkeurige flow regeling realiseren. Zelfs onder snel veranderende fysieke omstandigheden bij het gebruik van superkritische vloeistoffen.