FF-M1x

Mass Flow/Pressure Meters for Low Gas Flows

FLEXI-FLOW Compact models FF-M10 and FF-M11 Mass Flow / Pressure Meters are suited for accurate measurement of flow ranges between 0…500 ml_n/min and 0…20 l_n/min at operating pressures between 0,8 and 17 bar(a). The instrument combines a swift and stable thermal mass flow sensor based on capillary MEMS technology with a precise and proven by-pass construction. Due to the unique, internationally patented TCS Technology (Through Chip Sensor), accurate mass flow measurement, virtual independent of variations in temperature and line pressure is established. In combination with integrated temperature and up- and downstream pressure sensors, the embedded database for 22 gases allows accurate, on-board conversion. The multi-parameter instruments provide the user with useful process information:
- Model FF-M10: flow + temperature
- Model FF-M11: flow + temperature + up- and downstream pressure

Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)	min. 0…500 ml_n/min max. 0…20 l_n/min (basée sur N₂)





Gammes de pression	FF-M10: pas disponible / FF-M11: 0...17 bar(a)



Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)	jusqu'à ±0,5% Rd plus ±0,1% FS (N₂/Air/O₂); pour les autres gaz, ajouter l'incertitude de conversion; voir table multi-gaz;




Répétabilité	Capteur de débit: < ±0,2% Rd; Capteurs de pression: < ±0,2% FS
Rangeabilité	jusqu'`a 1:1000


Pression max. de fonctionnement	16 bar g










Multi-gaz/Multi-gammes	données intégrées sur les gaz pour 22 gaz uniques et tout mélange de ces gaz

Temps de réponse (capteur)	< 30 ms (T₆₃)



Stabilité à long terme	< 0,5% FS sur une période de 3 ans ; ensuite < 0,2% FS par an





Température de fonctionnement	0 … 50 °C
Conditions de stockage / transport	-20 … +80 °C, max. 95% RH (non condensant)

Montage	la sensibilité à la position de montage est négligeable
Sensibilité à la température	Capteur de débit: du zéro 0,015% FS/ºC; de la lecture 0,05% Rd/ºC; Capteurs de pression: du zéro 0,16 mbar/ºC; de la lecture 0,05% Rd/ºC
Précision de la température	± 0,2 ºC (température du corps de l'instrument)
Précision des capteurs de pression	±0,5% FS






Sensibilité à la pression	standard: < 0,15% Rd/bar typique N₂; avec correction de la pression: amélioration typique du facteur 5



Etanchéité, vers l'extérieur	testée < 2 x 10^-9 mbar l/s He

Parties mécaniques

Corps de l'instrument	Aluminium or Stainless steel (selectable)





Matériau (pièces en contact avec le fluide)	aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Qualité état de surface	< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)

Pression (PN)	16 bar(g) / 250 psig





Raccords de process	standard : BSPP femelle (ISO1179-1) optionnel : raccords double bagues ou à étanchéité de surface

Joints	default: FKM 51415; for other materials contact factory
Poids	225 g with Aluminium body, 325 g with SS 316 body; add 50 g for Ethernet interface
Protection IP	IP40

Propriétés électriques

Alimentation électrique	24 Vdc ± 10%


Consommation d'électrique max.	0,5 Watt; add 0,9 Watt for EtherNet communication















Communication numérique	Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable); Optional: PROFINET, EtherCAT, Modbus-TCP, Ethernet/IP or POWERLINK







Interface de support	USB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring


Raccordement électrique	9-pin D-sub (male)
Certification	CE / UKCA / KC

Raccordement électrique

Options vanne de régulation

Options actionneur externe à connecter au régulateur

Certification pour les zones à risque d'explosion

Certifications / certificats

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW Compact brochure

Manuals
Manual FLEXI-FLOW Compact
Quick Start Guide FLEXI-FLOW Compact
Mounting Instruction Compression Fittings
Mounting Instruction Push-in Fittings

Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS
FLEXI-FLOW Compact Ethernet

Dimensional drawings
Dimensional drawing FF-M1x

Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM

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