Top 5 FAQ über thermische Massendurchflussmesser der MASS-VIEW®-Serie

2) Kann die MASS-VIEW-Serie auch bei Vakuumprozessen benutzt werden?

Um diese Frage richtig zu beantworten, müssen wir uns zunächst mit der Physik von Gasen beschäftigen. In der Physik und in der Technik ist ein Massendurchfluss eine Menge/Masse einer Substanz, die pro Zeiteinheit fließt. Wenn wir jetzt einen Durchfluss im Vakuum betrachten, so ist klar, dass die Durchflussmenge sehr viel höher sein muss, um ein bestimmte Masse des Gases zu transportieren.

Da die MASS-VIEW-Serie mit dem direkten thermischen Messprinzip arbeitet, kann die Kombination aus dem strukturellen Aufbau des Instrumentes und der deutlich erhöhten Volumenstrom des Gases bei subatmosphärischen Bedingungen unerwartete Effekte auf die Messung haben. Daher kann die Verlässlichkeit der Messung subatmosphärischen Bedingungen nicht gewährleistet werden.

3) Wird die Genauigkeit meines Durchflussmessers durch Staub, Feuchtigkeit oder Öldämpfe im Prozessgas beeinträchtigt?

Feuchte Luft kann z.B. auch als Gemisch aus Luft und Wasserdampf aufgefasst werden, dazu können Fremdstoffe wie Staub oder Öldämpfe im Prozessgas enthalten sein. Die physikalischen Eigenschaften dieser Gemische weichen zum Teil erheblich von denen reiner, trockener Luft ab. Aus technischer Sicht ist diese Durchflussmesser Serie in der Lage, auch feuchte Luft zu messen, solange es nicht zur Kondensation im Sensorkanal kommt. Trotzdem kann die Genauigkeit der Messung abnehmen, da das Instrument auf trockene Luft kalibriert ist und feuchte Luft gemessen wird.

Was Öldämpfe und Staub betrifft, besteht hier potenziell das Risiko, dass das Instrument verstopft. Der innere Aufbau des Gerätes einigermaßen unempfindlich gegenüber Verstopfung durch verschmutze Gase. Das heißt aber nicht, dass Verstopfungen nicht passieren können, daher empfehlen wir dringend dein Einsatz von Filtern vor dem Geräteeingang, wenn Sie mit verschmutzten Gasen arbeiten.