Bronkhorst

EL-PRESS Metal Sealed P-702CM (P1-control)

Regulateur de pression amont à joints métalliques

  • Régulation de pression amont « P1 »
  • La construction brevetée du joint métal-métal assure une étanchéité à long terme (à l'atmosphère)
  • Surfaces en contact avec le fluide électropoli
  • Assemblée en salle blanche
  • Grande précision, excellente répétabilité
  • Conception technique bien éprouvée
  • Régulateur PID intégré pour la régulation de la pression
  • Communication analogique, RS232 et bus de terrain
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EL-PRESS Metal SealedP-702CM (P1-control)

Régulateurs de pression amont Metal-Sealed (déverseur)

Le régulateur de pression électronique (EPC) P-702CM de Bronkhorst® est spécialement conçu pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs et autres applications de gaz de grande pureté. Ces instruments sont dotés d'un état de surface supérieur et offrent une construction modulaire. Ils intègrent des joints métal sur métal qui assurent une étanchéité à long terme. Le P-602CM permet la régulation de la pression amont précise sur des plages de pression de 20 à 100 mbar jusqu'à 12,8 à 64 bar absolu ou jusq'à 4,2 à 21 bar relatif. L'EPC offre une conception à passage intégral compacte éprouvée et intègre un capteur de pression piézorésistif à membrane, une carte électronique numérique avec sortie analogique et RS232, en option des interfaces bus de terrain, ainsi qu'une vanne de régulation compacte à action rapide.

Outre la sortie standard RS232, les instruments disposent également des entrées / sorties analogiques. En option, il est possible d'équiper l'appareil d'une interface bus de terrain CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS.


Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Capteurs de pression absolueCode: 350A - Ranges (FS): 100 ... 350 mbara - P-max: 1,0 bara - Burst pressure: 1,4 bara
Code: 1K1A - Ranges (FS): 0,35 ... 1,1 bara - P-max: 3,1 bara - Burst pressure: 4,2 bara
Code: 6K0A - Ranges (FS): 1,1 ... 6 bara - P-max: 10,5 bara - Burst pressure: 14 bara
Code: 21KA - Ranges (FS): 6 ... 21 bara - P-max: 62 bara - Burst pressure: 84 bara
Code: 64KA - Ranges (FS): 21 ... 64 bara - P-max: 100 bara - Burst pressure: n.a.
Capteurs de pression relativeCode: 350R - Ranges (FS): 100 ... 350 mbarg - P-max: 1,0 barg - Burst pressure: 1,4 barg
Code: 1k1R - Ranges (FS): 0,35 ... 1,1 barg - P-max: 3,1 barg - Burst pressure: 4,2 barg
Code: 6K0R - Ranges (FS): 1,1 ... 6 barg - P-max: 10,5 barg - Burst pressure: 14 barg
Code: 21KR - Ranges (FS): 6 ... 21 barg - P-max: 62 barg - Burst pressure: 84 barg
Précision (Linéarité et hystérésis incl.)± 0,5 % FS
Répétabilité< 0,1 % RD
Rangeabilité de la pression1 : 5 (with flow range 1 : 50)
Stabilité de régulation≤ ± 0,05 % FS (typical for 1 slm N2 at specified process volume)
Température de fonctionnement-10 … +50 °C
up to +70°C on request
Sensibilité à la température0,1% FS/°C
Valeur de Kv max.6,6 x 10-2
Etanchéité, vers l'extérieur< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Fuite par la vanne fermée (Metal sealed)< 10-5 Pa.m3/s He
Sensibilité à l'orientationmay be mounted in any position
Temps de chauffenegligible
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)acier inox 316L ou comparable
Raccords de process1/4" face seal couplings
Jointsouter seals: metal-to-metal (no O-rings);
valve seat: Kalrez® (FFKM); option: Viton®
Poids0,7 kg
Protection IPIP40
Propriétés électriques
Alimentation électrique+15 … 24 Vdc
Consommation d'électrique max.
Alimentation
15 V
24 V
sous tension I/O
290 mA
200 mA
au courant I/O
320 mA
215 mA
extra pour bus de terrain
<75 mA
<50 mA
Sortie analogique0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Communication numériquestandard: RS232;
options: CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS
Raccordement électrique
Analogique/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out);
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Spécifications Ex-proof
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Remarque: La cellule de mesure du capteur de pression est séparée de la pression externe par un mince diaphragme en acier inoxydable sensible, et la cavité scellée entre le diaphragme et la cellule est remplie d'huile. Étant donné que le remplissage d'huile standard est inflammable, Bronkhorst conseille de prendre des précautions lorsque de l'oxygène ou tout autre fluide explosif est utilisé.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuels
Manual EL-PRESS
Quick installation guide EL-PRESS

Schémas de câblage
E/S analogiques et RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Configurations de bus et d'E/S optionnelles

Schémas d'encombrement
P-702CM
Dimensions Digital Cases


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