Bronkhorst

FLEXI-FLOW Compact FF-C1x

Régulateur de débit massique compact avec contrôle de pression pour les gaz

  • Régulation rapide et stable
  • Modèle de conversion des gaz intégré
  • 22 gaz embarqués
  • Sortie multi-paramètres : débit massique, température et pression
  • Communication par USB-C et Bluetooth 
  • Indication du statut Namur NE107
     
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FLEXI-FLOW CompactFF-C1x

Régulateur de débit massique avec contrôle de pression pour les faibles débits de gaz

Les régulateurs de débit massique FLEXI-FLOW Compact permettent une mesure et une régulation précises sur des plages de débit de 0 à 500 mln/min et de 0 à 20 ln/min à des pressions de service comprises entre le vide et 17 bar(a). L’instrument est doté d’un capteur de débit massique thermique de technologie MEMS, à la fois stable et rapide, associé à la technologie éprouvée de by-pass. Grâce à la technologie unique TCS (Through Chip Sensor), une mesure précise du débit massique, indépendante des variations de température et de pression, est réalisée. Associée à des capteurs de température et de pression intégrés en amont et en aval, la base de données intégrée permet une conversion précise pour 22 gaz. Les instruments multi-paramètres fournissent des informations utiles à l'utilisateur concernant le procédé. 

Les régulateurs de débit massique avec contrôle de pression FLEXI-FLOW Compact sont disponibles en 3 types :

  • Avec 'Préconfiguration Avancée' (PA), rangeabilité 1:500, débit + température + pression amont et aval, 4 plages de débit (Pleine échelle, basée sur N2) :
    Type FF-A500 - 500 mln/min
    Type FF-A2K0 - 2 ln/min
    Type FF-A5K0 - 5 ln/min
    Type FF-A20K - 20 ln/min
  • Avec 'Préconfiguration Standard' (PS), rangeabilité 1:50, débit + température, 4 plages de débit (Pleine échelle, basée sur N2) :
    Type FF-S500 - 500 mln/min
    Type FF-S2K0 - 2 ln/min
    Type FF-S5K0 - 5 ln/min
    Type FF-S20K - 20 ln/min
  • 'Fabrication à la demande (Built-to-Order/BtO)’, rangeabilité 1:1000; sélection libre des gammes de débit entre 0,5 et 20 ln/min (Pleine échelle, basée sur N2),
    Type FF-C10: débit + température
    Type FF-C11: débit + température + pression amont et aval;
    Les modèles BtO peuvent également être utilisés pour la configuration de versions multi-voies jusqu’ 8 voies.

Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)min. 0…500 mln/min
max. 0…20 ln/min
(basée sur N2)
Gammes de pressionPA: 0...17 bar(a)
PS: pas disponible
BtO: FF-C10: pas disponible / FF-C11: 0...17 bar(a)
Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)PA: ±0,8% Rd plus ±0,2% FS (N2/Air/O2);
PS: ±1,5% Rd plus ±0,5% FS (N2/Air/O2);
BtO: jusqu'à ±0,5% Rd plus ±0,1% FS (N2/Air/O2);
pour les autres gaz, ajouter l'incertitude de conversion; voir table multi-gaz;
RépétabilitéCapteur de débit: < ±0,2% Rd;
Capteurs de pression: < ±0,2% FS
RangeabilitéPS: 1:50
PA: 1:500
BtO: jusqu'`a 1:1000
Pression max. de fonctionnement16 bar g
Multi-gaz/Multi-gammesdonnées intégrées sur les gaz pour 22 gaz uniques et tout mélange de ces gaz
Temps de réponse (en régulation, standard)< 150 ms
Stabilité à long terme< 0,5% FS sur une période de 3 ans ; ensuite < 0,2% FS par an
Stabilité de régulation< ± 0,1% FS (typical for 1 ln/min N2)
Température de fonctionnement0...50 °C
Montagela sensibilité à la position de montage est négligeable
Sensibilité à la températureCapteur de débit: du zéro 0,0015% FS/ºC; de la lecture 0,03% Rd/ºC;
Capteurs de pression: du zéro 0,16 mbar/ºC; de la lecture 0,05% Rd/ºC
Précision de la température± 0,2 ºC (température du corps de l'instrument)
Précision des capteurs de pression±0,5% FS
Sensibilité à la pressionstandard: < 0,15% Rd/bar typique N2;
avec correction de la pression: < 0,02% Rd typique N2
Etanchéité, vers l'extérieurtestée < 2 x 10-9 mbar l/s He
Fuite par la vanne fermée< 1 x 10-4 mbar·l/s He typique
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Qualité état de surface< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)
Pression (PN)16 bar(g) / 250 psig
ΔP max.16 bar(d);
20 ln/min models: 5 bar (d)
Raccords de processBtO: compression type, push-in or face seal couplings;
PS / PA: to be ordered separately
JointsFKM 51415; valve seat: FFKM with PI film
BtO option: for other materials contact factory
Poids200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body
Protection IPIP40
Corps de l'instrumentBtO: Aluminium or Stainless steel (selectable);
PS / PA: Aluminium
Propriétés électriques
Alimentation électrique24 Vdc ± 10%
Consommation d'électrique max.2,0 Watt
Communication numériqueModbus RTU or FLOW-BUS (selectable)
Interface de supportUSB-C port for easy setup;
Optional Bluetooth connection for monitoring
Raccordement électrique9-pin D-sub (male)
CEEMC 2014/30/EU, RED 2014/53/EU, RoHS 2011/65/EU
Raccordement électrique
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Spécifications Ex-proof
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
FLEXI-FLOW brochure
Manuels
Manual FLEXI-FLOW
Quick installation guide FLEXI-FLOW
Schéma électrique
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS
Schéma d'encombrement
Dimensions FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM
Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM


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F-95370 Montigny-Les-Cormeilles (FR)
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