Régulateurs de débit pour les procédés de semi-conducteurs

Exemples d'application

Régulation de débit pour procédé MOCVD

Les régulateurs de débit à étanchéité métallique de Bronkhorst sont utilisés dans un procédé MOCVD pour la fabrication de LED afin de permettre une régulation précise des gaz vecteurs. Bronkhorst a non seulement fourni les régulateurs de débit, mais a également offert un service d'assistance intégral, allant de l'étalonnage aux conseils sur site, garantissant ainsi des performances optimales à ce client.

En savoir plus

Régulateurs de débit massique pour FOUP

En utilisant les régulateurs de débit massique Bronkhorst dans les procédés de purge FOUP, les fabricants peuvent garantir la propreté, réduire les risques de contamination et optimiser l'efficacité opérationnelle, répondant ainsi aux exigences élevées de l'industrie avancée des semi-conducteurs d'aujourd'hui.

En savoir plus

Mesure et régulation des fluides supercritiques

Les procédés utilisant des fluides supercritiques exigent une technologie de mesure qui va au-delà des méthodes conventionnelles. Les débitmètres massiques Coriolis vous permettent d'obtenir une régulation du débit constante et précise. Même dans des conditions physiques en évolution rapide lors de l'utilisation de fluides supercritiques.

En savoir plus

Pourquoi choisir Bronkhorst pour l'industrie des semi-conducteurs ?

Bronkhorst est spécialisé dans l'optimisation des technologies pour mesurer et réguler les débits de fluide. Le niveau de précision de nos instruments est essentiel pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de revêtement par pulvérisation pour les écrans plats (FPD) et de dépôt par couche atomique (ALD). La version d'instruments à étanchéité métallique peut vous aider à optimiser vos systèmes d'injection directe de liquide.

Pourquoi choisir Bronkhorst pour l'industrie des semi-conducteurs ?

Fabriqué en Europe

Découvrez la garantie du savoir-faire européen. Nos instruments sont conçus et fabriqués en Europe, offrant une qualité supérieure, une fiabilité optimale et une conformité aux normes industrielles les plus strictes. Parfaits pour répondre aux exigences des procédés de fabrication des semi-conducteurs.

Une présence mondiale avec un service local

Avec des agences et des partenaires dans le monde entier, nous allions la force d'un réseau international à l'expertise locale. Où que vous soyez, nous vous offrons une assistance adaptée à votre région.

Assistance par des ingénieurs disposant d'une vaste expérience des applications

Notre équipe, composée d'ingénieurs d'application expérimentés, met à votre service des décennies d'expertise dans la mesure et la régulation des fluides. Ils comprennent vos enjeux et collaborent étroitement avec vous pour optimiser votre système et garantir des résultats précis et reproductibles.

Nos produits pour l'industrie des semi-conducteurs

MASS-STREAM

Débitmètre/régulateur de débit massique en ligne pour gaz industriels

Pour 0,01 - 10 000 ln/min

Précision ***

Base de données de gaz embarquée

Faible perte de charge

Voir la gamme

EL-FLOW Select

Débitmètre/régulateur de débit massique pour les gaz - version laboratoire

Pour 0,014 mln/min - 1670 ln/min

Précision ****

L'instrument emblématique pour diverses applications

Convient pour des pressions allant jusqu'à 400 bars

Voir la gamme

Trouver une solution

Trouvez l'instrument adapté à votre procédé de gaz, liquide, vapeur ou pression. Grâce à une large gamme de produits, sélectionnez l'instrument qui répond à vos besoins. Commencez à parcourir notre gamme d'instruments dès maintenant et trouvez votre solution idéale.