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Exigences de l'application
L'utilisation de régulateurs de débit pour l'apport en hydrogène gazeux peut améliorer le procédé MOCVD et donc la qualité du produit. Des conditions de débit stables et une réponse rapide du régulateur de débit aux changements de réglages sont ici nécessaires.
Caractéristiques importantes
Caractéristiques importantes
Précision et stabilité dans la régulation du débit d'hydrogène
Réponse rapide avec régulateurs de débit et de pression à étanchéité métallique
Service intégral et assistance à la clientèle
Solution adoptée
Afin d'améliorer la qualité du procédé MOCVD, et par conséquent le rendement des LED, Bronkhorst fournit des régulateurs de débit EL-FLOW Metal Sealed destinés à être intégrés dans les équipements MOCVD.
Ces régulateurs régulent le débit du gaz vecteur d'hydrogène, qui est essentiel à la stabilité du procédé. Le débit influe directement sur la vitesse de dépôt des composants LED, ce qui rend indispensable une régulation précise.
Pour cette application, différents modèles de régulateurs EL-FLOW sont utilisés, allant des petits appareils capable de gérer un débit de 20 sccm à des modèles pouvant gérer un débit de 20 slm. Leur conception à joint métal sur métal garantit une étanchéité fiable, et leur finition de surface de haute qualité répond aux normes exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs et de panneaux solaires.
De plus, des régulateurs de pression EL-PRESS Metal Sealed font partie de la configuration. L'utilisation de ces dispositifs permet d'obtenir un débit d'hydrogène stable avec une réponse rapide aux conditions de procédé changeantes, ce qui garantit des performances constantes et un meilleur contrôle des procédés.
Service d'assistance intégral
Bronkhorst offre un service complet, incluant l'étalonnage et la réparation. Nous effectuons également des visites sur site afin de conseiller nos clients sur l'utilisation optimale des appareils et de leur donner des conseils pour améliorer leurs procédés. Un niveau d'assistance sans égal dans notre domaine d'activité.
« Bronkhorst allie des instruments de haute qualité avec un service exceptionnel, ce qui le distingue des autres fournisseurs. »
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