Bronkhorst

EL-FLOW Select F-111AC

ガス用デジタルサーマルマスフローメータ

  • 高精度、優れた繰り返し性
  • オプションのマルチ流体・マルチレンジ(MFMR)機能
  • 事実上圧力・温度影響なし
  • 小型
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EL-FLOW Select F-111AC

小/中流量向けガス用マスフローメータ

ブロンコスト(Bronkhorst®のマスフローメータ(MFM)F-111ACは流量範囲0.4…20 ln/minから2…100 ln/minまで、真空から10 MPaまでの圧力域での正確な流量測定に適しております。MFMはサーマルマスフローセンサとマイクロプロセッサベースの電子基板を搭載し、この電子基板は信号とフィールドバスの変換機能とPIDコントローラによる質量流量制御(別途設置の制御弁による)の機能を含みます。

EL-FLOW® Selectシリーズにはデジタル電子基板が搭載され、高精度、優れた温度安定性、高速応答を実現します。メインの電子基板は測定と制御のための一般的なあらゆる機能を含みます。標準のRS232通信に加え、機器はアナログI/Oにも対応致します。オプションの通信インターフェイスを搭載することにより、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSの各種通信プロトコルに対応可能です。EL-FLOW® Selectの設計上の特徴はオプションのマルチガス・マルチレンジ機能で、(OEM)顧客に理想的な柔軟性とプロセス効率をもたらします。


Technical specifications

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)min. 0,4…20 ln/min
max. 2…100 ln/min
(based on N2)
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)± 0,5 % RD plus ±0,1% FS
Repeatability< 0,2 % RD
Turndown ratioup to 1:187,5 (1:50 in analog mode)
Multi fluid capabilitystorage of max. 8 calibration curves;
optional Multi Gas / Multi Range functionality up to 10 bar abs
Response time (sensor)typical 0,5 sec.
Operating temperature-10 … +70 °C
Temperature sensitivityzero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C
Pressure sensitivity< 0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Leak integrity, outboardtested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivitymax. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N2
Warm-up time30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS
Mechanical parts
Material (wetted parts)Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating (PN)100 bar abs
Process connectionscompression type or face seal (VCR/VCO) couplings
Sealsstandard: FKM/Viton®;
options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight0.6 kg
Ingress protectionIP40
Electrical properties
Power supply+15… 24 Vdc
Max. power consumption meter
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
95 mA
65 mA
at current I/O
125 mA
85 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
Max. Power consumption controller
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
290 mA
200 mA
at current I/O
320 mA
215 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
Analog output0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digital communicationstandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Electrical connection
Analog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Control valve options
External actuator options to be connected to the controller
Ex-proof specifications
Approvals / certificates

Technical specifications subject to change without notice.

For dimensional drawings and hook-up diagrams please visit the product page on our website

ダウンロード

カタログ
EL-FLOW Select カタログ
EL-FLOW Select 流量レンジ表
取扱説明書
簡易操作手引 EL-FLOW Select
取扱説明書 EL-FLOW Select
配線図
アナログI/O - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
オプションのBusとIO構成
図面
F-111AC 外形寸法図
電子基板ケース 外形寸法図
継手 外形寸法図
3D CAD図
F-111AC


ブロンコスト・ジャパン株式会社
〒135-0016
東京都江東区東陽5-27-5

Tel.  03-3645-1371

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