Bronkhorst
Chemical

반도체 및 LED 산업

열 질량 유량계 및 컨트롤러는 반도체 제조 공정에서 가스 증착을 위해 1970년대에 개발되었습니다. 이 시장의 요구에 맞춰 기체, 액체 및 증기 전달을 위한 새롭고 더 발전된 제품을 선보임으로써 브롱호스트는 반도체, 플랫 패널, 디스플레이의 주요 공급업체가 되었습니다. LED 산업, 화학 증기 증착(CVD), 평판 디스플레이(FPD) 및 ALD(원자층 증착) 공정용 스프레이 코팅의 경우 액체 직분사 시스템을 위한 메탈seal 유량계를 제공할 수 있습니다.

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응용 예시

  • 레이저-다이싱 전 웨이퍼에 보호막 도포
  • 금속 유기화학 증착물(MOCVD)
  • 원자층 증착 (ALD)
  • 초임계 유체 투여 및 제어 (예: 초임계 CO2 세척)
  • 평면 디스플레이의 스프레이 코팅 (FPD)


APPLICATION NOTES

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Flow Control in MOCVD application

Flow Control is important in MOCVD applications. Read the story to find out how flow control helped our customer - a major TV manufacturer - to improve their LED product quality.

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Supercritical fluid measurement and control

Fluids like carbon dioxide (CO2) are difficult to measure when they move towards the inter-phase stage between being a liquid and a gas. Coriolis Mass Flow Meters are recommended for this application.

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기타 시장

브롱호스트 제품은 다양한 시장에서 다양한 용도로 사용됩니다. 실험실, 대학, 산업, 생산 및 파일럿, 심지어는 폭발의 위험이 있는 지역이나 설비에서도 볼 수 있습니다. 생산된 제품의 상당량은 OEM 고객의 제조 기계 또는 장비에 설치되어 있습니다.


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