Bronkhorst

가스용 열식 질량유량센서

바이패스 원리

대부분의 사람들이 열 질량 흐름 기구를 생각할 때 떠오르는것은 바이패스(모세관 바이패스 또는 바이패스 센서)를 사용하는 열식 질량 유량계 입니다.
 


Principle thermal by-pass principle, 열식 바이패스 원리
그림 A

바이패스 원리의 가스용 질량유량센서

바이패스 원리에 기반한 열식 기기에서는 가스 유량의 일부만 센서를 통해 흐릅니다. (그림 A 참조). 센서를 통과하는 가스 유량은 두 개의 히터(RHT1 and RHT2)에 의해 예열됩니다. 따라서 튜브의 온도는 두 지점(T1 and T2)에서 측정됩니다.

측정된 흐름이 없으면 두 지점 간의 온도 차이가 0이 됩니다. 흐름이 증가하면 유체가 열을 운반하기 때문에 첫 번째 측정 지점(T1)의 온도가 감소합니다(그림 B 참조). 동시에 두 번째 측정 지점(T2)의 온도는 유체가 열을 전달함에 따라 증가합니다. 흐름이 많을수록 온도 차이가 커지며 이 온도 차이는 질량 흐름에 정비례합니다. 전기적으로, 온도 T1 와 T2는 사실 온도 의존 저항 RHT1 과 RHT2 입니다.

그림 A에는 센서에서 측정된 신호가 어떻게 전기 신호로 증폭되는지 보여주고 있습니다. 이 센서는 메인 채널의 바이패스로 장착되며, 여기서 유량 저항 스플리터는 비례적으로 유량 분할을 처리합니다.

브롱호스트의 특허를 받은 Laminar(층류) Flow Element (유량 스플리터)는 유량 센서와 유사한 특성을 가진 고정밀로 식각된 스테인리스 디스크 스택으로 구성됩니다. 더 높은 유량을 위해 디스크에는 Turbulent(난류) 효과를 필터링하기 위한 추가 섹션이 장착되어 있습니다. 브롱호스트 유량 스플리터의 완벽한 유량 분할은 다양한 공정 조건에서도 안정적이고 계산 가능한 유량 비율을 보장합니다.
 

Thermal by-pass principle, 열식 바이패스 원리
그림 B

바이패스 원리를 이용한 브롱호스트 열식 질량 유량계 및 컨트롤러의 선정


저차압 응용

위에서 설명한 바이패스 원리의 변형으로, 브롱호스트는 저차압 애플리케이션을 위한 특수 구조인 LOW-dP-FLOW 시리즈를 설계하였습니다. 센서는 약 0,25...2,5 mbar의 차압만 필요합니다. 또한, 더 큰 유량 채널은 막힘의 위험을 최소화하고 클리닝 및 퍼지를 용이하게 합니다. 따라서 이 구성은 부식성 가스 용도로 주로 고려됩니다.
 

바이패스 원리를 이용한 브롱호스트 저차압용 열식 질량 유량계 및 컨트롤러의 선정



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