Bronkhorst

Funktionsweise der thermischen Massendurchflussmessung

Thermische Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler nutzen die Wärmeleitfähigkeit von Fluiden - sowohl Gasen als auch Flüssigkeiten - zur Bestimmung des Massendurchflusses. Im Gegensatz zu Volumendurchflussmessgeräten, wie z. B. Schwebekörperdurchflussmessern oder Turbinenradgaszählern, sind thermische Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler relativ immun gegenüber Temperatur- und Druckschwankungen des Zustroms.

Funktionsweise der thermischen Massendurchflussmessung von Gasen

Funktionsweise von thermischen Massendurchflussmessern und Massendurchflussreglern

Thermische Massendurchflussmesser oder Massendurchflussregler sind in der Lage, eine direkte Messung des Massendurchflusses durchzuführen. Dies steht im Gegensatz zu den meisten anderen Verfahren, die den Volumendurchfluss messen und separate Temperatur- und Druckmessungen benötigen, um die Dichte und letztendlich den Massendurchfluss zu berechnen.
Diese thermischen Durchflussinstrumente messen und regeln den Durchfluss auf molekularer Ebene und können so eine äußerst genaue, wiederholbare und zuverlässige Gaszufuhr im Rahmen des Prozesses gewährleisten.

Thermische Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler können in drei verschiedene Sensorprinzipien unterteilt werden:

  1. Thermischer Massendurchflusssensor für Gase, der auf dem Bypass-Prinzip basiert
  2. Thermischer Massendurchflusssensor für Gase, der auf dem Inline/CTA-Prinzip basiert
  3. Thermischer Massendurchflusssensor für Flüssigkeiten, der auf dem Inline-/CTA-/CPA-Prinzip basiert


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