Bronkhorst propose des solutions pour réguler et mesurer les débits : débitmètres pour Gaz et Liquides, régulateurs de pression électroniques, solutions sur mesure
La satisfaction des clients, l'innovation, la qualité des produits et des services sont les clés du succès de Bronkhorst. En se basant sur notre expérience, nos innovations et notre sens des responsabilités, une collaboration avec Bronkhorst assure une Performance for Life.
Les instruments Bronkhorst sont utilisés pour de nombreux marchés et des applications variées. Dans cette rubrique, vous aurez une vue d'ensemble des principaux marchés pour nos équipements, illustrée par quelques exemples typiques d'applications.
Vous recherchez une documentation technique, vous souhaitez en savoir plus sur les principes de mesure des instruments Bronkhorst ou souhaitez contacter un ingénieur de service Bronkhorst ? Cette rubrique vous guidera vers les sujets pertinents de service et d'assistance.
Bronkhorst France - 30 ans de savoir-faire en instrumentation. Débitmètres, Régulateurs de débit & Pression, Systèmes d’évaporation - Assistance technique & Service d’étalonnage
Les régulateurs de débit massique de Bronkhorst jouent un rôle indispensable dans la fabrication de LED par MOCVD. Une régulation stable et précise du débit d’hydrogène gazeux permet d’améliorer le procédé MOCVD et, par conséquent, la qualité des LED produites. Le dépôt chimique en phase vapeur par composés organométalliques (Metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) est en effet l’une des étapes de la fabrication de LED. Lors de cette étape, un gaz vecteur transporte un ou plusieurs précurseurs vaporisés vers un wafer. Ces composés viennent se déposer en couches cristallines très fines sur le substrat afin de produire des LED émettant une lumière rouge, verte ou bleue. Le type de matière déposée (généralement une sorte de nitrure) détermine la couleur de la lumière émise. Un grand fabricant de mini-LED pour écrans de télévision utilise ce procédé MOCVD en privilégiant l’hydrogène comme gaz porteur. Il a sollicité Bronkhorst Taïwan pour l’aider à concevoir une solution fiable et stable pour l’alimentation de ce gaz porteur.
Le client souhaitait améliorer la précision de la régulation du débit d’hydrogène afin d’optimiser son procédé MOCVD et, par conséquent, la qualité des LED produites. Il avait également besoin de conditions de débit stables et d’une réponse rapide du régulateur de débit lors de changement de consigne.
Pour répondre aux exigences de l'application, Bronkhorst Taïwan a fourni au client plusieurs régulateurs de débit massique EL-FLOW Metal Sealed conçus pour être installés à l’intérieur des équipements MOCVD AIXTRON de génération G3/G4. Ces régulateurs de débit ont pour objectif de contrôler le débit du gaz porteur, ici l’hydrogène. La stabilité du débit de gaz porteur est un élément clé de la qualité de l’ensemble du procédé, car son débit détermine la quantité de dépôt des composants LED. Les régulateurs de débit massique de Bronkhorst gèrent de grandes quantités de gaz pour remplir le réacteur MOCVD. Différents types sont utilisés : des petits régulateurs de débit massique EL-FLOW, pour un débit de gaz de 20 ml/min, aux plus grands dont les débits peuvent atteindre 20 l/min.
La conception à joint métal/métal offrant une excellente étanchéité est une caractéristique unique des régulateurs de débit massique EL-FLOW Metal Sealed. Grâce à leur qualité de surface élevée, ils sont particulièrement adaptés pour répondre aux exigences strictes des industries des semi-conducteurs et de l’industrie de l’énergie solaire. L’application en question fait également appel à des régulateurs de pression EL-PRESS Metal Sealed de Bronkhorst. L’utilisation de ces dispositifs dans cette application permet d’obtenir un débit d’hydrogène gazeux parfaitement stable et des temps de réponse rapides aux changements de conditions du procédé. Cette amélioration permettra de réduire les coûts de production et de stockage.
L’agence de Bronkhorst Taïwan propose des prestations de service, de l’étalonnage aux réparations des régulateurs de débit, même si leur fabrication remonte à 10 ans. L’équipe technique se rend sur place pour conseiller les clients sur l’utilisation des régulateurs de débit et sur la façon d’optimiser leur procédé. Pour ce projet précis, l’équipe a aidé le client à affiner le procédé en optimisant les paramètres PID des régulateurs de débit massique afin d’améliorer les performances de régulation du système MOCVD. Une prestation de services d’un niveau jamais égalé par la concurrence !
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