Bronkhorst

EL-FLOW Metal Sealed F-201CM

Régulateur de débit massique tout métal pour gaz

  • La construction brevetée métal-métal assure une étanchéité à long terme (vers l'extérieur)
  • Pièces en contact avec le fluide électropolies
  • Assemblé en salle blanche
  • Grande précision, excellente répétabilité
  • En option : fonctionnalité Multi-Gaz / Multi-Gammes 
  • Temps de chauffe rapide (inférieur à 600 msec)
Obtenir une offre de prix Téléchargements Support
EL-FLOW Metal SealedF-201CM

Régulateurs de débit massique Metal Sealed pour les gaz

Le régulateur de débit massique (MFC) F-201CM de Bronkhorst® est spécialement conçu pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs et autres applications de gaz de grande pureté. Ces instruments sont dotés d'un état de surface supérieur et offrent une construction modulaire. Cette série intègre des joints métal qui assurent une étanchéité à long terme. Elle est assemblée et étalonnée en salle blanche. Le modèle F-201CM permet une mesure et une régulation précises sur des plages de débit de 0,12 à 6 sccm et de 1 à 50 slm (basé sur N2) à des pressions de service comprises entre le vide et 1 000 psig (64 bar).

La technologie numérique des instruments de la série EL-FLOW® Metal Sealed offre une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide. La carte mère contient toutes les fonctions générales nécessaires à la mesure et à la régulation. Outre la sortie standard RS232, les instruments disposent également des entrées / sorties analogiques. En option, il est possible d'équiper l'appareil d'une interface bus de terrain CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS. Le modèle EL-FLOW® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations.


Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)min. 0,12…6 mln/min
max. 1…50 ln/min
Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)±0,5% Rd plus ±0,1% FS
Répétabilité< 0,2 % RD
Rangeabilité1:150 (1:50 en mode analogique)
Pression max. de fonctionnement1000 psig (64 bar)
Capacité multi-fluidesstockage de max. 8 courbes d'étalonnage;
Multi Gas / Multi Range fonctionnalité optionnelle jusqu'à 10 bar abs
Temps de réponse (en régulation, standard)1 second typical above 5% FS;
option: down to 600 msec
Stabilité de régulation± 0.05% FS (typical for 1 slm N2)
Température de fonctionnement-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat);
0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat);
0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)
Sensibilité à la températurezero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C
Sensibilité à la pression< 0,1% Rd/bar typical N2;
< 0,01% Rd/bar H2
Etanchéité, vers l'extérieur< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Fuite par la vanne fermée (Metal sealed)< 10-5 Pa.m3/s He
Sensibilité à l'orientationpeut être monté dans n'importe quelle position
Temps de chauffe30 minutes. pour une précision optimale
2 min pour une précision de ± 2% PE
Parties mécaniques
Matériau (pièces en contact avec le fluide)stainless steel 316L or comparable
Raccords de process1/4” face seal male
JointsOuter seals: metal-to-metal (no rings);
Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM); options: Viton®, EPDM
Poids0,7 kg
Protection IPIP40
Propriétés électriques
Alimentation électrique+ 15 … 24 Vdc
Consommation d'électrique max.
Alimentation
15 V
24 V
sous tension I/O
290 mA
200 mA
au courant I/O
320 mA
215 mA
extra pour bus de terrain
<75 mA
<50 mA
Sortie analogique0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Communication numériquestandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Raccordement électrique
Analogique/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Options vanne de régulation
Options actionneur externe à connecter au régulateur
Spécifications Ex-proof
Certifications / certificats

Les spécifications techniques peuvent être modifiées sans préavis.

Pour les schémas d'encombrements et les schémas de câblage, visitez le/la page produits sur notre Site internet

Téléchargements

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuels
Guide d'installation rapide EL-FLOW Select
Manuel EL-FLOW Select

Schémas de câblage
E/S analogiques et RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Configurations de bus et d'E/S optionnelles

Schéma d'encombrement
Schéma d'encombrement F-201CM
Dimensions Digital Cases


Bronkhorst France S.a.s.

53 Rue Jacques Verniol
F-95370 Montigny-Les-Cormeilles (FR)
Tel. +33 1 34 50 87 00
[email protected]

      
Copyright © 2021 Bronkhorst. All rights reserved.     Sitemap     Disclaimer     Privacy note