Bronkhorst

EL-FLOW Select F-203AV

ガス用デジタルサーマルマスフローコントローラ

  • 高精度
  • 高速応答、優れた繰り返し性
  • 事実上圧力・温度影響なし
  • 小型
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EL-FLOW Select F-203AV

大流量向けガス用マスフローコントローラ

ブロンコスト(Bronkhorst®)のマスフローコントローラ(MFC)F-203AVは流量範囲4…200 ln/minから33…1670 ln/minまで、真空から6.4 MPaまでの圧力域での正確な流量測定・制御に適しております。MFCはサーマルマスフローセンサ、精密なコントロールバルブ(制御弁)とマイクロプロセッサベースの電子基板を搭載し、この電子基板は信号とフィールドバスの変換機能を含みます。設定値に応じて、フローコントローラは速やかにお望みの値に流量調節します。

EL-FLOW® Selectシリーズにはデジタル電子基板が搭載され、高精度、優れた温度安定性、高速応答を実現します。メインの電子基板は測定と制御のための一般的なあらゆる機能を含みます。標準のRS232通信に加え、機器はアナログI/Oにも対応致します。オプションの通信インターフェイスを搭載することにより、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSの各種通信プロトコルに対応可能です。


Technical specifications

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)min. 4…200 ln/min
max. 33…1670 ln/min
(based on N2)
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)± 0,5 % RD plus ±0,1% FS
Repeatability< 0,2 % RD
Turndown ratio1:50
Multi fluid capabilityStorage of max. 8 calibration curves
Settling time (in control, typical)2 … 4 sec.
Control stability< ± 0,1 % FS
Operating temperature-10 … +70 °C
Temperature sensitivityzero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C
Pressure sensitivity< 0,1% Rd/bar typical N2; 0,01% Rd/bar typical H2
Max. Kv-value0,15 … 1,5
Leak integrity, outboardtested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Attitude sensitivitymax. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N2
Warm-up time30 min. for optimum accuracy
2 min. for accuracy ± 2% FS
Mechanical parts
Material (wetted parts)Stainless steel 316L or comparable
Pressure rating (PN)64 bar abs
Max. ΔP20 bar(d)
Process connectionscompression type or face seal (VCR/VCO) couplings
Sealsstandard: FKM/Viton®;
options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight4,9 kg
Ingress protectionIP40
Electrical properties
Power supply+15 … 24 Vdc
Max. power consumption
Supply
15 V
24 V
at voltage I/O
290 mA
200 mA
at current I/O
320 mA
215 mA
extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA
Analog output0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digital communicationstandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Electrical connection
Analog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Control valve options
External actuator options to be connected to the controller
Ex-proof specifications
Approvals / certificates

Technical specifications subject to change without notice.

For dimensional drawings and hook-up diagrams please visit the product page on our website

ダウンロード

カタログ
EL-FLOW Select カタログ
取扱説明書
簡易操作手引 EL-FLOW Select
取扱説明書 EL-FLOW Select
配線図
アナログI/O - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
オプションのBusとIO構成
図面
F-203AV 外形寸法図
電子基板ケース 外形寸法図
継手 外形寸法図
3D CAD図
F-203AV


ブロンコスト・ジャパン株式会社
〒135-0016
東京都江東区東陽5-27-5

Tel.  03-3645-1371

sales◎bronkhorst.jp   ◎を@に置き換えて下さい

     
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