Bronkhorst
ガス用マルチパラメータ熱式マスフローコントローラ

FLEXI-FLOW™ ガス用小型マスフローメータ・コントローラ

マスフロー・圧力測定・制御における新標準

Mass Flow Control #Redefined

新しいFLEXI-FLOW™シリーズには安定・高速応答のチップセンサーと高精度・高信頼性のバイパス技術が盛り込まれております。小型で確信的な機器は、マスフロー測定・制御における革新的な進歩です。

  • マルチパラメータ測定:1つの機器で流量・温度・圧力測定
  • Bluetoothと包括的なアプリケーションによるシンプルで安全な接続
  • オンボードガスデータベースとリアルタイムコンバージョンによる優れた精度
  • NAMURステータス表示によるプロセスに関する情報の常時把握
  • 広い測定・制御のダイナミックレンジにより、多様なアプリケーションに適応可能

3種のFLEXI-FLOW™ Compactシリーズ:

  • 構成済み・拡張版(Preconfigured Advanced:PA) - 4つのレンジ(Full Scale:FS = 0.5/2/5/20 ln/min、N2ベース)のMFC、ターンダウン1:500、流量+圧力+温度測定
  • 構成済み・標準版(Preconfigured Standard:PS) - 4つのレンジ(Full Scale:FS = 0.5/2/5/20 ln/min、N2ベース)のMFC、ターンダウン1:50、流量+温度測定
  • 受注生産版(Built-to-Order:BtO) - MFCとMFM、最小0.5 ln/minから最大20 ln/min(N2ベース)の間から任意にレンジを選択、ターンダウン1:1000;マルチチャネル版(最大8チャネル)も含みます
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Quick link to Mass Flow Meter/Controller model pages

Full Scale capacities (based on N) and pressure rating
 

Mass Flow Controller Mass Flow Meter
PN 16 bar PN 16 bar
FF-C10/FF-C11 Compact MFC  |  0,5 ... 20 ln/min FF-M10/FF-M11 Compact MFM  |  0,5 ... 20 ln/min


Flow factor and conversion

​To determine which model is suitable for process gases other than N2, the Full Scale (FS) flow must be multiplied by the below-mentioned 'flow factor'. Note: This factor may be different for a flow meter or a flow controller.
The high-accuracy on-board FLUIDAT gas database ensures best in class conversion from N2 to the customer gas. When converting one gas to another, a small uncertainty is introduced. Although gas properties and conversion model are very accurate, mechanical tolerances may cause slight deviations from the theoretical conversion values. Therefore and additional uncertainty [%Rd] is applied to the accuracy specification. When the best accuracy performance is required, calibration on actual process gas can be performed.

Download this table with visualisation of the flow range for each gas (4 pages: 0,5/2/5/20 ln/min)

 
Name Gas formula Flow factor MFM Flow factor MFC Conversion uncertainty Remarks
Acetylene C2H2 0,6 0,6 ±1,5% Rd  
Air Air 1 1 none  
Allene C3H4 #1 0,4 0,4 ±1,5% Rd  
Argon Ar 1,3 0,8 ±1,5% Rd  
Carbon dioxide CO2 0,7 0,7 ±1,5% Rd max. 10 bar
Carbon monoxide CO 1 1 ±1,5% Rd  
Cyclopropane C3H6 #1 0,4 0,4 ±1,5% Rd  
Deuterium D2 #1 1 1 ±1,5% Rd  
Ethane C2H6 0,5 0,5 ±1,5% Rd  
Ethylene C2H4 0,6 0,6 ±1,5% Rd max. 10 bar
Helium He 1,4 1,4 ±1,5% Rd  
Hydrogen H2 1 1 ±1,5% Rd  
Krypton Kr 1 0,6 ±1,5% Rd  
Methane CH4 0,8 0,8 ±1,5% Rd  
Neon Ne 1,4 1,2 ±1,5% Rd  
Nitrogen N2 1 1 none  
Nitrous oxide N2O 0,7 0,7 ±1,5% Rd  
Oxygen O2 1 0,9 none  
Perfluoropropane C3F8 0,15 0,15 ±1,5% Rd max. 10 bar
Propylene C2H6 #2 0,4 0,4 ±1,5% Rd max. 10 bar
Propane C3H8 0,3 0,3 ±1,5% Rd  
Propyne C3H4 #2 0,4 0,4 ±1,5% Rd  

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW brochure
Manuals
Manual FLEXI-FLOW
Quick installation guide FLEXI-FLOW
Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS

Application stories

The FLEXI-FLOW Compact series can be used in multiple applications, especially in applications with benchtop bioreactors, analytical equipment and vacuum deposition processes. Read the application stories:


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