Bronkhorst

FLEXI-FLOW Compact FF-M1x

ガス用小型マスフロー・圧力メータ

  • オンボードガスコンバージョンモデル
  • 22種のガスデータ搭載
  • マルチパラメータ出力:マスフロー、温度、圧力
  • USB-C, Bluetooth通信対応
  • Namur NE107情報
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FLEXI-FLOW CompactFF-M1x

小流量ガス用マスフロー・圧力メータ

FLEXI-FLOWのモデルFF-M10とFF-M11は小型のマスフロー・圧力メータ・コントローラで、流量レンジ(フルスケール)0…500 mln/minから0…20 ln/minまでの流量測定、真空から1.7 MPa (a)までの圧力測定に対応します。機器にはキャピラリーMEMS技術ベースの高速応答・高安定性のマスフローセンサと高精度・高信頼性のバイパス技術が盛り込まれております。独自の特許取得済みTCS(Through Chip Sensor)技術により、正確で、温度やライン圧力に事実上非依存の質量流量測定を実現します。機器に内蔵された22種のガス向けデータベース、温度および上下流圧力センサとにより、正確なオンボードコンバージョンを実現します。このマルチパラメータ機器により、有用なプロセス情報を取得頂けます。
- モデル FF-M10:流量+温度
- モデル FF-M11:流量+温度+入出口圧力


Technical specifications

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)min. 0…500 mln/min
max. 0…20 ln/min
(based on N2)
Pressure rangesFF-M10: not available / FF-M11: 0...17 bar(a)
Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration){$Bronkhorst.Products.UpTo$} ±0,5% Rd plus ±0,1% FS (N2/Air/O2);
for other gases add conversion uncertainty; see multi gas table;
RepeatabilityFlow sensor: < ±0,2% Rd;
Pressure sensors: < ±0,2% FS
Turndown ratioup to 1:1000
Max. operating pressure16 bar g
Multi Gas/Multi Rangeembedded gas data for 22 unique gases plus any mixture of these gases
Response time (sensor)< 30 ms (T63)
Long term stability< 0,5% FS over period of 3 years; then < 0,2% FS per year
Operating temperature0 … 50 °C
Storage / Transport conditions-20 … +80 °C, max. 95% RH (non-condensing)
Mountingany position, attitude sensitivity negligible
Temperature sensitivityFlow sensor: zero 0,015% FS/ºC; span 0,05% Rd/ºC;
Pressure sensors: zero 0,16 mbar/ºC; span 0,05% Rd/ºC
Temperature accuracy± 0,2 ºC (instrument body temperature)
Accuracy pressure sensors±0,5% FS
Pressure sensitivitystandard: < 0,15% Rd/bar typical N2;
with pressure correction: typical factor 5 improved
Leak integrity, outboardtested < 2 x 10-9 mbar l/s He
Mechanical parts
Instrument bodyAluminium or Stainless steel (selectable)
Material (wetted parts)aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Surface quality< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)
Pressure rating (PN)16 bar(g) / 250 psig
Process connectionsdefault: BSPP female thread (ISO1179-1)
optional: compression fittings, push-in or face seal fittings (VCO/VCR)
Sealsdefault: FKM 51415;
for other materials contact factory
Weight200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body
Ingress protectionIP40
Electrical properties
Power supply24 Vdc ± 10%
Max. power consumption0,35 Watt
Digital communicationModbus RTU or FLOW-BUS (selectable)
Support interfaceUSB-C port for easy setup;
Optional Bluetooth connection for monitoring
Electrical connection9-pin D-sub (male)
CertificationCE / UKCA / KC
Electrical connection
Control valve options
External actuator options to be connected to the controller
Ex-proof specifications
Approvals / certificates

Technical specifications subject to change without notice.

Hook-up diagrams
For dimensional drawings and hook-up diagrams please visit the product page on our website

ダウンロード

カタログ
FLEXI-FLOW カタログ
取扱説明書
FLEXI-FLOW 取扱説明書
FLEXI-FLOW 簡易操作手引き
継手取付要領(食い込み継手)
継手取付要領(プッシュイン継手)
配線図
FLEXI-FLOW コンパクト Modbus-RTU / FLOW-BUS
外形寸法図
FLEXI-FLOW コンパクトMFM/MFC
3D CAD図
FLEXI-FLOW コンパクトMFM/MFC


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〒135-0016
東京都江東区東陽5-27-5

Tel.  03-3645-1371

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