EL-FLOW® Metal Sealed Massendurchflussmesser und -regler
Für die Reinstgasversorgung
Die metallisch gedichteten Massendurchflussmesser und -regler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, patentierte, metallische Abdichtungskonstruktion mit hervorragenden Dichtungseigenschaften aus. Aufgrund ihrer hohen Oberflächenqualität sind sie besonders geeignet, um den Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und -regler sind mit 1/4‘‘-VCR-Verbindungen versehen.
- Kleinster Mess- und Regelbereich 0,12...6 mln/min
- Größter Mess- und Regelbereich 1... 50 ln/min
Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser/-regler mit Feldbus-Schnittstelle
Moderne Instrumente sind mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit (t98 auf 500 msec reduziert) bieten. Die neuesten Geräte der EL-FLOW® Serie verfügen über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die unseren (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Um dem Kunden die Bedienung zu erleichtern, stellt Bronkhorst eine benutzerfreundliche Konfigurationssoftware bereit.
Finden Sie Ihr Produkt
Informationen herunterladen