EL-FLOW® Metal Sealed Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler
Für die Reinstgasversorgung
Die metallisch gedichteten Durchflussmesser und Durchflussregler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, patentierte, metallische Abdichtungskonstruktion mit hervorragenden Dichtungseigenschaften aus. Aufgrund ihrer hohen Oberflächenqualität sind sie besonders geeignet, um den Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler sind mit 1/4‘‘-VCR-Verbindungen versehen.
- Kleinster Mess- und Regelbereich 0,12...6 mln/min
- Größter Mess- und Regelbereich 1... 50 ln/min
Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser & Massendurchflussregler mit Feldbus-Schnittstelle
Moderne Instrumente sind mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit (t98 auf 500 msec reduziert) bieten. Die neuesten Geräte der EL-FLOW® Serie verfügen über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die unseren (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Um dem Kunden die Bedienung zu erleichtern, stellt Bronkhorst eine benutzerfreundliche Konfigurationssoftware bereit.
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