Bronkhorst
EL-FLOW® METAL SEALED Massendurchflussregler und -messer

EL-FLOW® Metal Sealed Massendurchflussmesser und -regler

Für die Reinstgasversorgung

Die metallisch gedichteten Massendurchflussmesser und -regler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, patentierte, metallische Abdichtungskonstruktion mit hervorragenden Dichtungseigenschaften aus. Aufgrund ihrer hohen Oberflächenqualität sind sie besonders geeignet, um den Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und -regler sind mit 1/4‘‘-VCR-Verbindungen versehen.

  • Kleinster Mess- und Regelbereich 0,12...6 mln/min
  • Größter Mess- und Regelbereich 1... 50 ln/min

Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser/-regler mit Feldbus-Schnittstelle

Moderne Instrumente sind mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit (t98 auf 500 msec reduziert) bieten. Die neuesten Geräte der EL-FLOW® Serie verfügen über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die unseren (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Um dem Kunden die Bedienung zu erleichtern, stellt Bronkhorst eine benutzerfreundliche Konfigurationssoftware bereit.

Finden Sie Ihr Produkt Informationen herunterladen

Schnellzugriff auf die Produktseiten der Massendurchflussmesser/-regler

Endwert-Bereich (N2-Äquivalent) versus Druckstufe

Massendurchflussregler Massendurchflussmesser
PN 64 bar PN 100 bar
F-201CM  |  0,006 ... 50 ln/min F-111CM  |  0,006 ... 50 ln/min


Eigenschaften

  • metallische Dichtung zur Umgebung (ohne Ringe)
  • Elektropolierte mediumberührende Teile
  • Reinraumgefertigt
  • Analoger und digitaler I/O mit optional integrierter Schnittstelle zu CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP oder FLOW-BUS
  • Hohe Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit
  • Stabile Steuerung, auch bei unterschiedlichen Prozessmengen

afbeelding

Downloads

Prospekte
EL-FLOW Metal Sealed Prospekt

Bedienungsanleitung
EL-FLOW Metal Sealed Kurzanleitung
EL-FLOW Metal Sealed Bedienungsanleitung


Bronkhorst Deutschland nord gmbh

Südfeld 1b
59174 Kamen (GER)
Tel. +49 230792512-0
[email protected]

      
Copyright © 2020 Bronkhorst. Alle Rechte vorbehalten.     Sitemap     Haftungsausschluss     Datenschutz     Impressum