Bronkhorst

FLEXI-FLOW Compact FF-C1x

Kompakter Massendurchflussregler und Druckregler für Gase in Einem

  • Schnelle und stabile Regelung
  • Integriertes Gaskonversionsmodell
  • 22 verschiedene Gase
  • Multi-Parameter-Output: Massendurchfluss, Temperatur und Druck
  • USB-C- und Bluetooth-Kommunikation
  • Namur NE107 Statusanzeige
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FLEXI-FLOW CompactFF-C1x

Durchflussregler & Druckregler für geringe Gasströme

FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler eignen sich für die genaue Messung und Regelung von Durchflussbereichen zwischen 0...500 mln/min und 0...20 ln/min bei Betriebsdrücken zwischen Vakuum und 17 bar(a). Das Gerät kombiniert einen schnellen und stabilen thermischen Massendurchflusssensor auf Basis der neuartigen Kapillar-Chip-Technologie mit dem präzisen und bewährten Bypass-Sensor. Dank der einzigartigen TCS-Technologie (Through Chip Sensor) wird eine genaue, von Temperatur- und Leitungsdruckschwankungen nahezu unabhängige Massendurchflussregelung erreicht. In Kombination mit integrierten Temperatur- und vor- und nachgeschalteten Drucksensoren ermöglicht die eingebettete Datenbank für 22 Gase eine genaue On-Board-Konversion. Die Multi-Parameter-Instrumente liefern dem Anwender nützliche Prozessinformationen. 

Die FLEXI-FLOW Compact Massendurchfluss-/Druckregler sind in 3 Varianten erhältlich:

  • 'Preconfigured Advanced' (PA), Turndown 1:500, Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N2):
    Typ FF-A500 - 500 mln/min
    Typ FF-A2K0 - 2 ln/min
    Typ FF-A5K0 - 5 ln/min
    Typ FF-A20K - 20 ln/min
 
  • 'Preconfigured Standard' (PS), Turndown 1:50, Durchfluss + Temperatur, 4 Durchflussbereiche (FS, basierend auf N2):
    Typ FF-S500 - 500 mln/min
    Typ FF-S2K0 - 2 ln/min
    Typ FF-S5K0 - 5 ln/min
    Typ FF-S20K - 20 ln/min
 
  • 'Built-to-Order' (BtO), Turndown 1:1000; freie Auswahl der Durchflussbereiche zwischen 0,5 and 20 ln/min (FS, basierend auf N2),
    Typ FF-C10: Durchfluss + Temperatur
    Typ FF-C11: Durchfluss + Temperatur + Vor- und Nachdruck;
    BtO Modelle können auch zur Konfiguration von Mehrkanalversionen mit bis zu 8 Kanälen verwendet werden.


 

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)min. 0…500 mln/min
max. 0…20 ln/min
(basierend auf N2)
DruckbereichePA: 0...17 bar(a)
PS: nicht verfügbar
BtO: FF-C10: nicht verfügbar / FF-C11: 0...17 bar(a)
Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)PA: ±0,8% v.M. plus ±0,2% v.E. (N2/Luft/O2);
PS: ±1,5% v.M. plus ±0,5% v.E. (N2/Luft/O2);
BtO: bis zu ±0,5% v.M. plus ±0,1% v.E. (N2/Luft/O2);
für andere Gase ist eine Umrechnungsunsicherheit hinzuzufügen; siehe Multi-Gas-Tabelle;
WiederholgenauigkeitDurchflusssensor: < ±0,2% v.M.;
Drucksensoren: < ±0,2% v.E.
Turndown-BereichPS: 1:50
PA: 1:500
BtO: bis zu 1:1000
max. Betriebsdruck16 bar g
Multi Gas/Multi Rangeeingebettete Gasdaten für 22 einzelne Gase sowie beliebige Mischungen dieser Gase
Einschwingzeit (in Regelung, typisch)< 150 ms
Langzeitstabilität< 0,5% v.E. über einen Zeitraum von 3 Jahren; danach < 0,2% v.E. pro Jahr
Regelstabilität< ± 0,1% FS (typical for 1 ln/min N2)
Betriebstemperatur0...50 °C
EinbauBeliebige Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar
TemperatursensibilitätDurchflusssensor: Nullpunkt 0,0015% v.E./ºC; Spanne 0,03% v.M./ºC;
Drucksensoren: Nullpunkt 0,16 mbar/ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC
Temperatur-Genauigkeit± 0,2 ºC (Temperatur des Gerätekörpers)
Genauigkeit Drucksensoren±0,5% v.E.
Druckempfindlichkeitstandard: < 0,15% v.M./bar typisch N2;
mit Druckkorrektur: < 0,02% v.M. typisch N2
Leckdichtigkeit, nach außengetestet < 2 x 10-9 mbar l/s He
Leckage durch geschlossenes Ventiltypisch < 1 x 10-4 mbar·l/s He
Mechanische Teile
Werkstoff (medienberührte Teile)aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Oberflächenqualität< 1,6 mu Ra (<0,8 mu Ra for stainless steel body)
Druckstufe (PN)16 bar(g) / 250 psig
Max. ΔP16 bar(d);
20 ln/min models: 5 bar (d)
ProzessanschlüsseBtO: compression type, push-in or face seal couplings;
PS / PA: to be ordered separately
DichtungenFKM 51415; valve seat: FFKM with PI film
BtO option: for other materials contact factory
Gewicht200 g with Aluminium body, 300 g with SS 316 body
Schutzart (Gehäuse)IP40
InstrumentenkörperBtO: Aluminium or Stainless steel (selectable);
PS / PA: Aluminium
Elektrische Eigenschaften
Spannungsversorgung24 Vdc ± 10%
Stromaufnahme max.2,0 Watt
Digitale KommunikationModbus RTU or FLOW-BUS (selectable)
Support-SchnittstelleUSB-C port for easy setup;
Optional Bluetooth connection for monitoring
Elektrische Anschlüsse9-pin D-sub (male)
CEEMC 2014/30/EU, RED 2014/53/EU, RoHS 2011/65/EU
Elektrische Anschlüsse
Optionen Regelventil
Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument
Spezifikationen EX-Schutz
Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.

Für Maßzeichnungen und Anschlusspläne besuchen Sie die Produktseite auf unserer webseite

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW brochure
Bedienungsanleitungen
Betriebsanleitung FLEXI-FLOW
Kurzanleitung FLEXI-FLOW
Montageanleitung Einschrauber FLEXI-FLOW
Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS
Dimensional drawings
Dimensions FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM
Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM


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