Bronkhorst

IQ+FLOW IQF-100C MFM

Mikrofluidischer Massendurchflussmesser für Gase

  • Geringe Größe gewährleistet Platzeffizienz
  • Sehr geringes Innenvolumen
  • wirtschaftliche Lösung, niedrige Betriebskosten
  • Analoge oder digitale Kommunikation
  • MEMS Sensor
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IQ+FLOWIQF-100C MFM

MEMS-basierter Massendurchflussmesser für Gase, für OEM-Anwendungen

Bronkhorst® IQ+FLOW® IQF-100C Massendurchflussmesser sind für die genaue Messung trockener, reiner, nicht korrosiver und nicht explosiver Gase geeignet. Der ultrakompakte Massendurchflussmesser ist mit einem chip-basierten (MEMS) thermischen Massendurchflusssensor ausgestattet und für Durchflussbereiche zwischen 0,2…10 mln/min und 0,1…5 ln/min (N2-Äquivalent) bei Betriebsdrücken von bis zu 10 bar(g) geeignet. Die Kommunikation mit den Geräten erfolgt entweder im Analog-Modus oder digital über RS232 oder RS485.

Die ultrakompakten IQ+FLOW Instrumente werden normalerweise für den Einbau in Analyse- und medizinische Geräte empfohlen.


Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min
(based on N2)
Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Wiederholgenauigkeitfor flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Turndown-Bereich1:50 (2…100%)
Betriebsdruck0 … 10 bar g
MedienDry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Multi-Fluid-Fähigkeitstorage of max. 8 calibration curves
Betriebstemperatur5 … 50 °C
Temperatursensibilitätspan: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Druckverlust0,3 psi dif (20 mbard) based on 1 ln/min Air at 0 bar(g)
Leckdichtigkeit, nach außen1 x 10-8 mbar∙l/s He
Lageempfindlichkeitmax. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Mechanische Teile
Werkstoff (medienberührte Teile)aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body
Prozessanschlüsseoptional: 10-32 UNF threaded internal nut with 1/16” ferrule (SS316 or Peek);
1/16” or 1/8” OD compression type
Dichtungenstandard: Viton®; other on request
Gewicht0,2 kg
Schutzart (Gehäuse)IP40
Elektrische Eigenschaften
Abtastzeit2 msec
Spannungsversorgung+ 15 … 24 Vdc
Stromaufnahme max.50 mA
Analoges Ausgangssignal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale KommunikationRS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Elektrische Anschlüsse
Stromversorgung/Analog/RS232/RS485RJ45 modular jack
Optionen Regelventil
Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument
Spezifikationen EX-Schutz
Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.

Für Maßzeichnungen und Anschlusspläne besuchen Sie die Produktseite auf unserer webseite

Downloads

Prospekte
IQ-FLOW Prospekt

Bedienungsanleitungen
IQ-FLOW Bedienungsanleitung
IQ-FLOW Kurzanleitung

Anschlussskizzen
Analog I-O RS232
RS232-RS485
RS232-RS485 Analog I-O

Dimensionszeichnungen
Dimensional drawing IQF-IQP 1-channel in-line

Solids 3D
IQF-100C-200C


Bronkhorst Deutschland nord gmbh

Südfeld 1b
59174 Kamen (GER)
Tel. +49 230792512-0
[email protected]

      
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