Flow control in MOCVD toepassing

Flow controllers spelen een grote rol in de MOCVD-processen bij LED productie. Ze zorgen in dit proces voor het nauwkeurig en stabiel regelen van de gas flow – in dit geval waterstofgas. Dit zorgt voor een betere kwaliteit van de LEDs.
 
MOCVD staat voor ‘Metal organic chemical vapour deposition’ en is één van de fabricagestappen in de productie van LEDs. Bij MOVCD geleidt een ‘carrier’ gas één of meer dampvormige organometaalverbindingen naar een wafer. Daar ontbinden deze verbindingen en zetten zich flinterdunne kristallaagjes af op de wafer voor het maken van rode, groene en blauwe leds.
 
Eén van de grote fabrikanten die LEDs maakt voor TV-schermen, gebruikt het MOVCD-proces met waterstof.  In samenwerking met Bronkhorst Taiwan heeft de fabrikant een betrouwbare en stabiele flow control kunnen realiseren
 

Procesoplossing

Om de kwaliteit van het MOCVD-proces en daarmee die van de LEDs te verbeteren heeft Bronkhorst Taiwan meerdere EL-FLOW Metal Sealed flow controllers geleverd. Dit type flow controller wordt nu standaard gebruikt in de MOCVD-apparatuur van het type AIXTRON-generatie G3/G4.

De instrumenten zijn bedoeld om de waterstofgasflow te regelen. Omdat de flow van het ‘carrier’ gas – in dit geval waterstof - bepalend is voor de snelheid waarmee de LED-componenten worden afgezet, is het essentieel voor de kwaliteit van het hele proces dat deze flow stabiel is

De  flow controllers voeren een wisselende hoeveelheid gas toe om de kamers van de MOCVD-reactorapparatuur te vullen.

Full-Service op locatie

Bronkhorst biedt een full-service dienst aan, ook on-site. Wij verrichten kalibraties en reparaties aan de flowinstrumenten, ook als ze al 10 jaar oud zijn. Ons serviceteam geeft advies over het gebruik van de flowinstrumenten en geven tips over het onderhoud ervan.
 
Voor dit project heeft het serviceteam van Brokhorst Taiwan de klant geholpen het proces te finetunen door de PID-regeling van de flow controllers aan te passen voor betere regelprestaties in het MOCVD-systeem. Deze full-service activiteiten worden door geen enkele concurrerende leverancier in Taiwan in deze vorm aangeboden.