Bronkhorst

EL-FLOW Metal Sealed F-201CM

Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser für Gase

  • Patentierte metallische Dichtung sorgt für langfristige Leckagedichtheit (zur Atmosphäre)
  • Elektropolierte mediumberührende Teile
  • im Reinraum montiert
  • Hohe Genauigkeit, exzellente Wiederholbarkeit
  • Multi Gas / Multi Range Funktionalität (Option)
  • Schnelle Einschwingzeit (bis zu 600 msec)
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EL-FLOW Metal SealedF-201CM

Metallisch gedichtete Massendurchflussregler für Gase

Bronkhorst® F-201CM Massendurchflussregler wurden speziell entworfen, um den Anforderungen des Halbleitermarkts sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Instrumente zeichnen sich durch eine hohe Oberflächenqualität und einen modularen Aufbau mit metallischen Dichtungen aus, die langfristige Dichtigkeit gewährleisten. Der F-201CM ist für die genaue Messung und Regelung von Durchflussbereichen zwischen 0,12…6 sccm und 1…50 slm (ausgehend von N2) bei Betriebsdrücken bis zu 64 bar (1000 psi) geeignet.

Die EL-FLOW® metal sealed Serie ist mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit gewährleistet. Die digitale Hauptplatine umfasst alle allgemeinen Funktionen, die für Messung und Regelung erforderlich sind. Neben dem Standard-RS232-Ausgang bieten die Instrumente auch analoge Signale. Optional kann eine On-Board-Schnittstelle für CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP oder FLOW-BUS Protokolle montiert werden. Die EL-FLOW® metal sealed Ausführung verfügt über eine optionale Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet.


Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)min. 0,12…6 mln/min
max. 1…50 ln/min
Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)±0,5% Rd plus ±0,1% FS
Wiederholgenauigkeit< 0,2 % RD
Turndown-Bereichup to 1:187,5 (1:50 in analog mode)
max. Betriebsdruck1000 psig (64 bar)
Einschwingzeit (regler, typisch)1 second typical above 5% FS;
option: down to 600 msec
Regelstabilität± 0.05% FS (typical for 1 slm N2)
Betriebstemperatur-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat);
0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat);
0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)
Temperatursensibilitätzero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C
Druckempfindlichkeit< 0,1% Rd/bar typical N2;
< 0,01% Rd/bar H2
Leckdichtigkeit, nach außen< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Leckage durch geschlossenes Ventil (metallisch gedichtet) / Leckrate bei geschlossenem Ventil (metallisch gedichtet)< 10-5 Pa.m3/s He
Lageempfindlichkeitkann in jeder Position montiert werden
Aufwärmzeit30 Min. für beste Genauigkeit
2 Min. für Genauigkeit ± 2% v.E.
Mechanische Teile
Werkstoff (medienberührte Teile)stainless steel 316L or comparable
Prozessanschlüsse1/4” face seal male
DichtungenOuter seals: metal-to-metal (no rings);
Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM); options: Viton®, EPDM
Gewicht0,7 kg
Schutzart (Gehäuse)IP40
Elektrische Eigenschaften
Spannungsversorgung+ 15 … 24 Vdc
Stromaufnahme max.
Speisung
15 V
24 V
bei Spannung I/O
290 mA
200 mA
bei Strom I/O
320 mA
215 mA
Extra für Feldbus
<75 mA
<50 mA
Analoges Ausgangssignal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale Kommunikationstandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, FLOW-BUS
Elektrische Anschlüsse
Analog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
Modbus/FLOW-BUSRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Optionen Regelventil
Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument
Spezifikationen EX-Schutz
Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.

Für Maßzeichnungen und Anschlusspläne besuchen Sie die Produktseite auf unserer webseite

Downloads

Prospekte
EL-FLOW Metal Sealed Prospekt

Bedienungsanleitungen
EL-FLOW Metal Sealed Kurzanleitung
EL-FLOW Metal Sealed Bedienungsanleitung

Anschlussdiagramme
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Optional Bus and IO Configurations

Dimensionszeichnungen
Dimensional drawing F-201CM
Dimensions Digital Cases


Bronkhorst Deutschland nord gmbh

Südfeld 1b
59174 Kamen (GER)
Tel. +49 230792512-0
[email protected]

      
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