Spécifications techniques

Type de fluide

Gaz secs, propres et non corrosifs

Principe de mesure

Thermal

Gamme de la série

Pour 0,2 mln/min - 5 ln/min

Précision

< ±1.5% Rd + ±0.5% FS

Répétabilité

pour les débits < 20 mln/min : < ±0,2% FS ; pour les débits > 20 mln/min : < ±0,5 % Rd

Max. Pression bar(g)

10

Température de fonctionnement

5...+50°C

Indice de protection

IP40

Modèles IQ+FLOW

Les débitmètres et régulateurs de débit ultra-compacts est un choix idéal pour les équipements de paillasse où l'espace est limité et les fabricants d'équipements. Les capteurs de débit sont basés sur la technologie de puce MEMS.

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IQF-100C
Débitmètre massique microfluidique pour gaz

min. 0,2...10 mln/min

Max. 0,1...5 ln/min

10 bar(g)

Téléchargements et spécifications
IQF-200C
Régulateur de débit massique microfluidique pour gaz

min. 0,2...10 mln/min

max. 0,1...5 ln/min

10 bar(g)

Téléchargements et spécifications
IQFD-100C
Débitmètre massique microfluidique pour gaz, à montage en surface

min. 0,2...10 mln/min

max. 0,1...5 ln/min

10 bar(g)

Téléchargements et spécifications
IQFD-200C
Régulateur de débit massique microfluidique pour gaz, à montage en surface

min. 0,2...10 mln/min

max. 0,1...5 ln/min

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Control valves

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